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      玻璃表面圖形的高度差測(cè)量

      h1654156072.2321 ? 來(lái)源：szly19925317939 ? 作者：szly19925317939 ? 2022-09-08 16:22 ? 次閱讀

      要求玻璃表面圖形的高度差測(cè)量（如下圖所示）

      pYYBAGMZpmiAV-NnAACmlFO0wCk629.jpg

      玻璃表面圖形的高度差測(cè)量

      通過(guò)觀察樣品，發(fā)現(xiàn)玻璃表面被激光雕刻的有三塊區(qū)域，且玻璃的厚度較薄，屬于光可穿透物體，由此本次選用的鏡頭D15A32搭配H4UO單通道控制器，D15A32不僅光斑超小，且線性精度和分辨率都超高，非常適用于要求線性精度高的東西。

      poYBAGMZpm6ATP8aAABU41t1U9g911.jpg

      玻璃表面圖形的高度差測(cè)量

      pYYBAGMZpm6ABvgBAABllqvdOJI555.jpg

      玻璃表面圖形的高度差測(cè)量

      poYBAGMZpnSAcPUCAABXMpabUl4782.jpg

      玻璃表面圖形的高度差測(cè)量

      poYBAGMZpnmAGOlPAACoFpFx0DI350.jpg

      （重復(fù)精度）

      pYYBAGMZpn-AJw0tAACKBXN2mIQ560.jpg

      通過(guò)上圖的可以看出使用本公司光譜共焦位移傳感器在測(cè)量玻璃的高度差位置1的精度在1.28μm左右，位置2 的精度在1.34μm-1.35μm左右，位置3的精度在0.15微米左右，這些還沒(méi)算上氣流等帶來(lái)的一絲干擾。

      審核編輯 黃昊宇

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