1.ATE = Automatic Test Equipment. 是自動化測試設備的縮寫,于半導體產(chǎn)業(yè)意指集成電路(IC)自動測試機, 用于檢測集成電路功能之完整性, 為集成電路生產(chǎn)制造之最后流程, 以確保集成電路生產(chǎn)制造之品質。
2.DUT = Device Under Test. 待測設備,半導體行業(yè)一般是電子元器件/芯片。
3.PIB = Prober Interface Board. 探針接口板:介于測試機探針臺和半導體晶圓或芯片之間。是載板的一種,主要用于在半導體器件封裝前的測量,與自動測試設備(ATE)之間建立電氣連接。
4.DIB = Device Interface Board:設備接口板:介于測試機和設備之間
5.PDP = Prober docking plate,探針臺對接板
6.Handler是什么?IC Handler的用法:
Handler = IC pick up and place handler。自動分選機,用于成測中自動分類已測芯片的機器。必須與測試機相連接對接后(docking)及接上對接板(interface board)才能進行測試,動作過程為分選機的手臂將DUT放入socket,此時contact chuck下壓,使DUT的腳正確與socket接觸后,送出start訊號,透過interface tester,測試完后,tester送回binning及EOT訊號,handler做分類動作??蛻?a target="_blank">產(chǎn)品的尺寸及腳數(shù)不同,handler提供不同的模具。
7.Manipulator: 半導體測試行業(yè)的manipulator一般指的是Test head manipulator, 測試機機械手/測試機支架, 也叫測試頭機械手/測試頭支架,搬運測試頭,方便測試頭與探針臺(Prober)對接/取消對接或調整測試頭。
8.Prober = 探針臺,通常指晶圓探針臺,中測中用于晶圓測試的機器。 在電氣測試中,來自測量儀器或測試機的測試信號會通過探針或探針卡傳輸?shù)骄系母鱾€設備,然后從設備返回信號。晶圓探針臺用于處理晶圓,使其在設備上的指定位置接觸。在半導體開發(fā)中,晶圓探測器主要用于評估原型IC的特性,可靠性評估和缺陷分析。 9.Pogo Tower, 也叫Prober Tower,中文探針塔,探針塔是機械上精確排列的彈簧觸點,頂部和底部,中間有可控的阻抗連接。由于塔的機械和電子特性是眾所周知的,測試系統(tǒng)可以補償插入損耗和信號。
10.Docking是什么?Docking一般是指ATE測試設備中與Prober(探針臺)界面連接的那塊板的對接方式。 Direct docking= 直接對接,這是一種不需要探針塔的接口對接方案,與傳統(tǒng)系統(tǒng)對接方案對比,直接對接的特點如下: ? Direct Docking System 直接對接系統(tǒng) 接口組件僅連接到測試頭 測試頭與探針臺的連接位于外部 ? Conventional System 傳統(tǒng)系統(tǒng) 接口組件位于探針頭板內 將測試頭連接到接口處的探針臺上
11.PCB = Printed Circuit Board, (印制電路板),又稱印刷線路板,是重要的電子部件,是電子元器件的支撐體,是電子元器件電氣連接的載體。由于它是采用電子印刷術制作的,故被稱為“印刷”電路板。
12.PC = Probe Card: 探針卡是晶圓測試中被測芯片和測試機之間的接口,主要應用于芯片分片封裝前對芯片電學性能進行初步測量,并篩選出不良芯片后,再進行之后的封裝工程。探針卡的使用原理是將探針卡上的探針與芯片上的焊墊(Pad)或凸塊(bump)直接接觸,導出芯片訊號,再配合周邊測試儀器與軟件控制達到自動化測量晶圓。它對前期測試的開發(fā)及后期量產(chǎn)測試的良率報證都非常重要,是晶圓制造過程中對制造成本影響相當大的重要制程。
13.Wafer = 晶圓。也被稱為基片,由純硅(Si)構成,一般分為6英寸、8英寸、12英寸規(guī)格不等,晶片就是基于這個wafer上生產(chǎn)出來的。晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。
14.Die - Silicon die or bare-die,晶粒 - 硅晶片或裸片是指尚未封裝的全功能芯片,一個晶圓由許多晶粒組成,這些晶粒在在切割過程中被分離出來。
15.Chip – 芯片,集成電路(IC)基本上是一種電子電路,它將許多不同的設備集成到一塊硅片上。它也經(jīng)常被稱為微芯片或簡單的芯片。一般來說,芯片這個詞指的是一塊很小很薄的材料,有時是從一塊較大的材料上掰下來的。當芯片還沒有封裝時,我們稱它為裸片。所以,大多數(shù)集成電路都是在很薄(厚度小于1毫米)的硅片上以裸片的形式生產(chǎn)的。
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