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一文詳解離子束工藝技術

二次離子質譜（SIMS）是一種分析方法。具有高空間分辨率和高靈敏度的工具。它使用高度聚焦的離子束（通常是氧氣或（無機樣品用銫離子）“濺射”樣品表面上選定區(qū)域的材料。

噴射出的“二次離子”通過質量。分光計，它將離子按照它們的質量/電荷比，實際上提供了化學物質分析一個很小的取樣量。

編輯：黃飛

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離子束

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原文標題：聚焦離子束工藝技術詳解(178頁PPT）

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