激光器芯片的壽命可靠性測(cè)試

激光芯片的可靠性是一項(xiàng)十分關(guān)鍵的指標(biāo)，無(wú)論是小功率的激光筆還是要求較高的激光通信芯片，都需要進(jìn)行芯片的老化和可靠性的測(cè)試。

相比于傳統(tǒng)的電子類(lèi)的芯片，激光的測(cè)試比較復(fù)雜，牽涉到光、電的測(cè)量，也要考慮封裝形式的區(qū)別。老化試驗(yàn)是作為芯片的一個(gè)檢測(cè)手段，在研發(fā)初期，也可以通過(guò)芯片老化試驗(yàn)，得到很多芯片質(zhì)量信息，可以查找早期的一些工藝問(wèn)題等。

我們知道激光芯片的測(cè)量一般都是看LIV數(shù)據(jù)，如下圖：

激光的光電參數(shù)受熱的影響較大。

如上圖，隨著溫度的升高，芯片的閾值電流增加。

通常晶圓在完工之后，要先進(jìn)行晶圓級(jí)的檢查，這時(shí)候，因?yàn)闊o(wú)法測(cè)試到側(cè)邊的發(fā)光，因此一般不做通電檢查，也就檢查一下外觀和一些芯片的關(guān)鍵尺寸。

第二步分裂成bar條之后，可以初步測(cè)試出光情況，因?yàn)闆](méi)有特定的出光面和反光面，因此也不是完全正確的激光模式，發(fā)光功率可以簡(jiǎn)單的認(rèn)為兩端一樣高。

第三步做AR面和HR面鍍膜，然后進(jìn)行Bar條測(cè)試，測(cè)試后可分成單獨(dú)的芯片顆粒。

做老化，要等到芯片封裝完成器件之后，如To9封裝，才能進(jìn)行。

芯片的壽命可以用Arrhenius公式：阿倫尼烏斯公式（Arrheniusequation）是化學(xué)術(shù)語(yǔ)，是瑞典的阿倫尼烏斯所創(chuàng)立的化學(xué)反應(yīng)速率常數(shù)隨溫度變化關(guān)系的經(jīng)驗(yàn)公式。

挪用到激光芯片上就是：

如上圖同是Ea=0.7eV的激光器，在室溫20℃下的壽命是10萬(wàn)小時(shí)，但是在70℃下只有2300小時(shí)。

封裝好的芯片壽命測(cè)試一般要進(jìn)行1000小時(shí)的老化，甚至更長(zhǎng)。在通信產(chǎn)業(yè)有專(zhuān)門(mén)針對(duì)激光器測(cè)試的Telcordia測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。

加速老化是快速測(cè)試的一種手段，通過(guò)高溫、大注入電流、或者更高的出光功率。高溫是常用的一個(gè)方向。

老化常用的三種測(cè)試模式：

1）定電流模式模式，在老化過(guò)程中，提供一種ACC（automatic current control)模式，也就是定電流。

2）定功率模式，也叫APC（automatic power control)，出射光的光功率保持在一個(gè)常量（通過(guò)調(diào)節(jié)電流供給）。功率模式在老化測(cè)試中比較常用，因?yàn)楸容^接近實(shí)際應(yīng)用的場(chǎng)景。

3）定期的測(cè)試。把laser放入一個(gè)100℃的環(huán)境內(nèi)，定期拿出來(lái)量一量。

激光器在實(shí)際的老化工程中，如果采用周期式的測(cè)試，也會(huì)存在很多外界影響因素，主要是溫度不穩(wěn)定，設(shè)備測(cè)量和控制不穩(wěn)定，設(shè)備的可靠性和電源失效。溫度控制難的一個(gè)原因是激光器的自發(fā)熱，即使緊緊夾雜裸露的鋁散熱器上的To-can封裝，激光器同樣也有5~10C/W的熱阻。如果激光器在100mA和1.8V的條件下工作，在激光器內(nèi)部和散熱片可能有1.5℃的溫差。

另外激光器在給定的電流下對(duì)溫度很敏感，哪怕散熱片只有0.1℃的波動(dòng)就會(huì)造成輸出光功率的噪聲。而且外部用于測(cè)量的光敏二極管，也會(huì)受到溫度的影響，進(jìn)而得到不同的光功率數(shù)據(jù)，因此也需要對(duì)其溫度進(jìn)行控制。

激光器壽命周期研究要求在數(shù)千小時(shí)對(duì)激光器工作參數(shù)甚至百分之幾的變化進(jìn)行精確測(cè)量。因此在1000小時(shí)內(nèi)測(cè)試設(shè)備的穩(wěn)定性必須達(dá)到0.1%。

上圖是16個(gè)DFB激光器在APC模式下75℃時(shí)1000小時(shí)的測(cè)試結(jié)果。

通常在測(cè)試開(kāi)始前幾百小時(shí)老化速度最快，后來(lái)是一個(gè)穩(wěn)定的線性老化特性，每一個(gè)激光器的使用壽命在線性區(qū)都是一條直線。所以可以推斷出預(yù)定義電流下的使用壽命。

如以電流變化20%作為使用壽命的盡頭。在75℃時(shí)使用壽命估計(jì)從360小時(shí)到16450小時(shí)，這些數(shù)據(jù)通過(guò)Weibull可能性分布，得到平局使用壽命為2200小時(shí)。

上圖在930小時(shí)有個(gè)直線下落，是老化系統(tǒng)突然斷電導(dǎo)致，后續(xù)上電之后，圖形還能繼續(xù)走，說(shuō)明老化是可以中斷的，但是盡量不要插拔，laser2在500~800小時(shí)的時(shí)候可以觀測(cè)到不穩(wěn)定的讀數(shù)，這個(gè)在老化測(cè)試中也是常見(jiàn)的現(xiàn)象，和測(cè)試硬件和手法都有關(guān)系，也不用太在意，可能旁邊震動(dòng)一下就會(huì)跳。

老化是激光器產(chǎn)品篩選的一道重要工序，篩選出那些壽命可能較短的產(chǎn)品，使剩下的大量的激光器都具有滿意的可接受的可靠性。因?yàn)槔匣瘜?duì)生產(chǎn)成本和時(shí)間有影響，一般老化時(shí)間小于100小時(shí)。

審核編輯：劉清