2020年9月,由中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)傳感器分會(huì)、中國儀器儀表學(xué)會(huì)傳感器分會(huì)、中國儀器儀表學(xué)會(huì)儀表元件分會(huì)、傳感器國家工程研究中心四個(gè)中國傳感器產(chǎn)業(yè)權(quán)威機(jī)構(gòu),聯(lián)合發(fā)布了《中國傳感器(技術(shù)、產(chǎn)業(yè))發(fā)展藍(lán)皮書》。 因發(fā)表于2020年,部分?jǐn)?shù)據(jù)比較陳舊,但文中所指問題及觀點(diǎn),以及對(duì)我國傳感器產(chǎn)業(yè)的全面認(rèn)識(shí),均具有十分重要的參考價(jià)值,建議收藏、分享。 相信該報(bào)告是目前中國傳感器產(chǎn)業(yè)最權(quán)威的研究報(bào)告,由沈陽儀表院原院長、在傳感行業(yè)耕耘半個(gè)世界的徐開先主筆,十?dāng)?shù)位專家、學(xué)者參與撰寫、審核,目前行業(yè)所引用的許多數(shù)據(jù)、觀點(diǎn)、看法,均來自這份報(bào)告,報(bào)告中強(qiáng)調(diào):傳感器的難點(diǎn)在于產(chǎn)業(yè)化,重點(diǎn)也在于產(chǎn)業(yè)化。 本文整理了藍(lán)皮書中一些關(guān)鍵內(nèi)容:中國傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的歷程、傳感技術(shù)發(fā)展歷程、中國傳感器產(chǎn)業(yè)目前的情況、傳感技術(shù)發(fā)展7大趨勢(shì)、國產(chǎn)傳感器代表性企業(yè)、國產(chǎn)主要MEMS產(chǎn)線……等。文末附錄國內(nèi)最具影響力傳感器企業(yè)盤點(diǎn)名單。
中國傳感器發(fā)展之路
傳感技術(shù)是新一代信息技術(shù)三大組成部分之一,是發(fā)展物聯(lián)網(wǎng)及其應(yīng)用的關(guān)鍵和瓶頸,是發(fā)展中國裝備制造業(yè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)元器件。其作用越來越被工業(yè)界、科技界、國防軍工、政府決策部門所認(rèn)識(shí)和重視。
中國傳感器的發(fā)展走過了一段極不平坦之路:從無到有,從有到全,全而不強(qiáng),機(jī)遇很多。對(duì)傳感器的認(rèn)識(shí)上下基本趨于一致,轉(zhuǎn)變了“造船不如買船、買船不如租船”的思維模式,從“市場換技術(shù)”的迷霧中走出,正確理解“科技創(chuàng)新的主體在企業(yè)”這一觀點(diǎn)。經(jīng)過幾代傳感器人的努力,風(fēng)雨同舟,一路艱辛,成績巨大,業(yè)績卓然,問題不少,前景光明。
傳感器技術(shù)發(fā)展總覽:
傳感器各項(xiàng)技術(shù)發(fā)展歷程:
傳感器產(chǎn)品發(fā)展歷程:
我國傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷程:
“七五”期間:在重視產(chǎn)品開發(fā)的同時(shí),重視“中試生產(chǎn)”
在“工業(yè)過程自動(dòng)控制”項(xiàng)目中,“敏感元件及傳感器開發(fā)”作為攻關(guān)課題進(jìn)行攻關(guān)。
開發(fā)擴(kuò)散硅2英寸硅片的芯片制備工藝、力敏器件封接工藝、硅杯加工工藝,以及薄膜濺射工藝,厚膜漿料配制及元件刻蝕、調(diào)阻等傳感器制造的新工藝。
開發(fā)了17種新型敏感材料,使敏感材料依靠國外的局面有了很大的改善。
擴(kuò)散硅力敏器件、壓力傳感器、液位傳感器、薄膜鉑電阻、厚膜鉑電阻、電渦流傳感器等新產(chǎn)品,進(jìn)行了小批量生產(chǎn),并在電站故障診斷系統(tǒng)等工程中應(yīng)用。在沈陽儀器儀表工藝研究所和大連儀表元件廠進(jìn)行硅壓力傳感器的中試生產(chǎn),產(chǎn)品的技術(shù)水平與當(dāng)時(shí)國外同類產(chǎn)品水平相當(dāng)。
“八五”期間:加強(qiáng)傳感技術(shù)研究,開展“批量生產(chǎn)研究”
“傳感器技術(shù)研究”列為國家科技攻關(guān)。以“3-5-3”的原則安排,即以工業(yè)控制、測(cè)試儀器和機(jī)電一體化為服務(wù)對(duì)象,選擇力、磁、熱、濕、氣五大類傳感器為攻關(guān)重點(diǎn),形成沈陽儀表工藝所、上海冶金所、哈爾濱49所三個(gè)傳感器研發(fā)中心。
取得新技術(shù)、新工藝37項(xiàng),開發(fā)了74個(gè)品種132規(guī)格的新產(chǎn)品,獲得國家專利15項(xiàng)。攻關(guān)期間銷售各類傳感器2360萬只,銷售收入13711萬元,創(chuàng)匯214萬美元。
首次開發(fā)了InSb磁敏薄膜和霍爾元件;小型廉價(jià)壓力傳感器、磁敏電流傳感器、厚膜壓力傳感器、高性能NTC熱敏電阻、可燃?xì)怏w傳感器、廉價(jià)濕度傳感器等產(chǎn)品開始批量生產(chǎn)。
“九五”期間:“工程化研究”正式立項(xiàng)
“傳感器技術(shù)研究”繼續(xù)列為國家重點(diǎn)科技攻關(guān)項(xiàng)目。攻關(guān)以提高技術(shù)水平、可靠性水平和產(chǎn)業(yè)化程度為目標(biāo),以市場需求為導(dǎo)向,進(jìn)行工程化、新產(chǎn)品開發(fā)、共性關(guān)鍵技術(shù)研究。
獲得科技成果59項(xiàng),有6項(xiàng)成果進(jìn)行了技術(shù)轉(zhuǎn)讓,取得專利32 項(xiàng),其中發(fā)明專利7項(xiàng)。攻關(guān)期間累計(jì)銷售各類傳感器1260萬只,銷售收入25218萬元,創(chuàng)匯907萬美元。
工業(yè)變送器用硅壓力傳感器、OEM通用壓力傳感器、厚膜壓力傳感器、石英諧振式稱重傳感器、InSb霍爾元件、厚膜鉑電阻,α-Fe203可燃?xì)怏w傳感器、廉價(jià)濕度傳感器進(jìn)行工程化研究,18個(gè)品種75個(gè)規(guī)格新型傳感器中試生產(chǎn),年生產(chǎn)能力2257萬只,石英諧振式稱重傳感器的批量生產(chǎn)在國內(nèi)外屬于首創(chuàng),開發(fā)了兩大系列7個(gè)品種的電子衡器,建立了深圳清華傳感設(shè)備公司。
微機(jī)械加工(MEMS)工藝在壓力傳感器的生產(chǎn)中得到實(shí)際應(yīng)用。解決了擴(kuò)散硅芯片的穩(wěn)定性和免補(bǔ)償工藝,提高了可補(bǔ)性、穩(wěn)定性、一致性,成品率80%。實(shí)現(xiàn)4英寸片批量生產(chǎn)工藝。
InSb磁敏薄膜芯片的制備工藝由化合物蒸鍍過渡到In和Sb的單質(zhì)蒸鍍,成品率達(dá)到60%,在南京中旭微電子公司進(jìn)行生產(chǎn)。
完成了51個(gè)品種、72個(gè)規(guī)格的新產(chǎn)品開發(fā)。微壓傳感器、高溫硅集成開關(guān)、快響應(yīng)電流傳感器、硅集成線性傳感器、電化學(xué)CO傳感器、低濃度NO2傳感器、長壽命高分子濕度傳感器、低功耗氣體傳感器、小型固態(tài)PH傳感器等新產(chǎn)品進(jìn)行批量生產(chǎn)。在突破關(guān)鍵技術(shù)之后,建立了新疆傳感器公司和武漢湖北中邦電子有限公司,產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)超小型NTC熱敏電阻、過載保護(hù)用PTC熱敏電阻。
“十五”期間:“產(chǎn)業(yè)化研究”成為攻關(guān)重要內(nèi)容
“先進(jìn)制造基礎(chǔ)件開發(fā)研究和應(yīng)用”中,傳感器產(chǎn)業(yè)化技術(shù)研究是該項(xiàng)目的重要攻關(guān)內(nèi)容之一,列了三個(gè)專題,分別是:
——差壓、靜壓、溫度三參數(shù)一體化多功能傳感器產(chǎn)業(yè)化技術(shù),為國內(nèi)智能工業(yè)變送器配套。年生產(chǎn)能力達(dá)到2萬只;
——低功耗強(qiáng)磁體薄膜磁阻器件系列產(chǎn)品開發(fā),為工業(yè)計(jì)量儀表配套。年生產(chǎn)能力達(dá)到50萬只;
——可靠性增長技術(shù)研究,實(shí)現(xiàn)上述兩種傳感器的可靠性增長。一體化多功能傳感器達(dá)到5萬小時(shí),低功耗強(qiáng)磁體薄膜磁阻器件達(dá)到六級(jí)。
“十一五”至今
“傳感器的規(guī)?;a(chǎn)業(yè)化問題”成為傳感器的熱點(diǎn),引起多方關(guān)注。
再識(shí)中國傳感器
分析中國傳感器體系建設(shè)、企業(yè)發(fā)展情況,分析傳感器產(chǎn)業(yè)鏈及市場狀況。結(jié)合傳感器代表性企業(yè)及新產(chǎn)品新技術(shù),分析中國傳感器地位。
目前形成了以中科院研究所、國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、高等院校為核心的研發(fā)體系。以傳感器國家工程研究中心、企業(yè)為主體的產(chǎn)業(yè)體系。以物聯(lián)網(wǎng)、智能制造、人工智能、消費(fèi)電子、民生工程等為對(duì)象的應(yīng)用體系。
傳感器企業(yè)統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)及分類情況:
傳感器生產(chǎn)制造型企業(yè)產(chǎn)品分類:
傳感器區(qū)域產(chǎn)業(yè)布局分析:
傳感器分類標(biāo)準(zhǔn):
傳感器分類(按照檢測(cè)原理分類):
傳感器產(chǎn)業(yè)鏈“基本”打通:
傳感器標(biāo)準(zhǔn)制訂工作卓有成效
初步統(tǒng)計(jì),我國現(xiàn)行的傳感器國家標(biāo)準(zhǔn)97項(xiàng)(包括國軍標(biāo)),行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)125項(xiàng),構(gòu)建了傳感器標(biāo)準(zhǔn)體系,基本能滿足傳感器產(chǎn)業(yè)的需求。
可以估計(jì),2019年中國傳感器市場銷售額大約1000億元人民幣(來源:前瞻產(chǎn)業(yè)研究院):
國內(nèi)傳感器代表性企業(yè)一覽:
此處可參看《權(quán)威發(fā)布!36家具有全國影響力的傳感器企業(yè)?。ǜ饺麊危穬?nèi)容。
傳感器研發(fā)水平不斷提高,涌現(xiàn)了一批新技術(shù):
中國傳感器(技術(shù)、產(chǎn)業(yè))發(fā)展趨勢(shì):
1、系統(tǒng)化
系統(tǒng)化指不把傳感器或傳感技術(shù)作為一種單獨(dú)器件或技術(shù)考慮,而是按照信息論和系統(tǒng)論要求,應(yīng)用工程研究方法,強(qiáng)調(diào)傳感器和傳感技術(shù)發(fā)展的系統(tǒng)性和協(xié)同性。
將傳感器置于信息識(shí)別和處理技術(shù)的一個(gè)重要組成部分,將傳感技術(shù)與計(jì)算機(jī)技術(shù)、通信技術(shù)協(xié)同發(fā)展。必須系統(tǒng)地考慮傳感技術(shù)、計(jì)算技術(shù)、通信技術(shù)之間的獨(dú)立性、相融性、依存性。而智能網(wǎng)絡(luò)化傳感器正是這種發(fā)展趨勢(shì)的主要標(biāo)志之一。
2、創(chuàng)新性
創(chuàng)新性主要包括利用新原理、新效應(yīng)、新技術(shù)。
如利用納米技術(shù),制作納米傳感器。與傳統(tǒng)傳感器相比,尺寸減小、精度提高、性能大大改善,為傳感器的制作提供了許多新方法。
利用量子效應(yīng)研制具有敏感某種被測(cè)量的量子傳感器,像共振隧道二極管、量子阱激光器、量子干涉部件等,具有高速(比電子敏感器件快1000倍)、低耗(能耗比電子敏感器件低1000倍)、竊效、高集成度、高效益等優(yōu)點(diǎn)。
利用新材料開發(fā)新型傳感器。如利用納米材料,制作的鈀納米112傳感器、金納米聚合物傳感器、碳納米聚合物傳感器、電阻應(yīng)變式納米壓力傳感器。
利用納米材料的巨磁阻效應(yīng),科學(xué)家們己經(jīng)研制出各種“納米磁敏傳感器”。研發(fā)特種用途、特種環(huán)境、特殊工藝的傳感器。如在高溫、高壓、耐腐蝕、強(qiáng)輻射等環(huán)境F的傳感器。
利用3D打印技術(shù)的傳感器。柔性傳感器,量子傳感器等。
3、微型化
在自動(dòng)化和工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域,要求傳感器本身的體積越小越好。
傳感器的微型性是指敏感元件的特征尺寸為“毫米(mm)—微米(um)—納米(nm)”類傳感器。這類傳感器具有尺寸上的微型性和性能上的優(yōu)越性,要素上的集成性和用途上的多樣性,功能上的系統(tǒng)性和結(jié)構(gòu)上的復(fù)合性。
傳感器的微型化決不僅僅是特征尺寸的縮微或減小,而是一種有新機(jī)理、新結(jié)構(gòu)、新作用和新功能的高科技微型系統(tǒng)。其制備工藝涉及MEMS技術(shù)、1C技術(shù)、激光技術(shù)、精密超細(xì)加工技術(shù)等。
4、智能化
傳感器的智能化是指傳感器具有記憶、存儲(chǔ)、思維、判斷、自診等人工智能。其輸出不再是單一的模擬信號(hào),而是經(jīng)過微處理器后的數(shù)字信號(hào),甚至具有執(zhí)行控制功能。
技術(shù)發(fā)展表明:數(shù)字信號(hào)處理器(DSP)將推動(dòng)眾多新型下一代傳感器產(chǎn)品的發(fā)展。隨著5G通信、大數(shù)據(jù)、AR、VR,云計(jì)算等的發(fā)展,以及機(jī)器人內(nèi)動(dòng)駕駛、人工智能等新技術(shù)應(yīng)用,世界從原有的電了時(shí)代進(jìn)入智能時(shí)代,傳感器也迎來一個(gè)新的智能化時(shí)代。
哲能傳感器廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、新型高端汽車、工業(yè)檢測(cè)與控制、智能醫(yī)用、智能農(nóng)業(yè)、智能交通等領(lǐng)域。
美國圣何塞的Accenture實(shí)驗(yàn)室,研宄出一種叫“智能塵?!钡膫鞲衅?。該傳感器極其微小,能測(cè)溫度、濕度、光等參數(shù),該傳感器中嵌入了微處理器、軟件代碼、無線通信系統(tǒng),可以噴灑到樹上或其他物體上,當(dāng)檢測(cè)到異常時(shí),能發(fā)出信號(hào),對(duì)所在地區(qū)進(jìn)行監(jiān)測(cè)。
5、無源化
傳感器多為非電量向電量的轉(zhuǎn)化,工作時(shí)離不開電源,在野外現(xiàn)場或遠(yuǎn)離電網(wǎng)的地方,往往用電池或太陽能供電,研制微功耗的無源傳感器是必然的發(fā)展方向,既節(jié)省能源,又能提高系統(tǒng)壽命。
網(wǎng)絡(luò)化是指傳感器在現(xiàn)場實(shí)現(xiàn)TCP/IP協(xié)議,使現(xiàn)場測(cè)控?cái)?shù)據(jù)就近登臨網(wǎng)絡(luò),在網(wǎng)絡(luò)所能及的范圍內(nèi)實(shí)時(shí)發(fā)布和共享信息。要使網(wǎng)絡(luò)化傳感器成為獨(dú)立節(jié)點(diǎn),關(guān)鍵是網(wǎng)絡(luò)接口標(biāo)準(zhǔn)化。目前己有“有線網(wǎng)絡(luò)化傳感器”和“無線網(wǎng)絡(luò)化傳感器”。
無線傳感器網(wǎng)絡(luò)是由布設(shè)在無人值守的監(jiān)控區(qū)內(nèi),具有通信與計(jì)算能力的微小傳感器節(jié)點(diǎn)組成,根據(jù)環(huán)境自主完成指定任務(wù)的“智能”自治測(cè)控網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)。無線傳感器網(wǎng)絡(luò)是一種測(cè)控網(wǎng)絡(luò)。
7、產(chǎn)業(yè)化
加速形成傳感器從研發(fā)到產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的發(fā)展模式,揭示傳感器產(chǎn)業(yè)化規(guī)律,成本、價(jià)格之間的辯證關(guān)系,產(chǎn)業(yè)化是中國傳感器真正走出象牙之塔的關(guān)鍵之步。
在設(shè)計(jì)技術(shù)、制造技術(shù)、產(chǎn)業(yè)化技術(shù)、應(yīng)用技術(shù)四個(gè)方面與國外差距明顯:
國內(nèi)傳感器沒有進(jìn)入“重點(diǎn)領(lǐng)域、重點(diǎn)行業(yè)、重大工程”,沒有進(jìn)入國民經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場:
傳感器風(fēng)險(xiǎn)猶存
1、關(guān)鍵核心技術(shù)未能突破,產(chǎn)業(yè)化難點(diǎn)未能解決,高端核心傳感器依賴進(jìn)口。
2、國內(nèi)高檔傳感器的應(yīng)用市場幾乎被國外壟斷
3、一些高端傳感器,國外對(duì)中國明確禁運(yùn)
對(duì)中國傳感器產(chǎn)業(yè)的4點(diǎn)思考
1、重組國家隊(duì),加強(qiáng)基礎(chǔ)研究,突出創(chuàng)新——培養(yǎng)多個(gè)領(lǐng)域傳感器領(lǐng)軍人才。
2、強(qiáng)化傳感器產(chǎn)業(yè)鏈的研究和建設(shè)——培育中國傳感器標(biāo)志性企業(yè)。
3、用好、用活現(xiàn)有的MEMS傳感器芯片工藝線——培養(yǎng)傳感器大國工匠。
此處可參看《新增3條12英寸MEMS產(chǎn)線!中國40條主要傳感器芯片產(chǎn)線盤點(diǎn)(最新最全)》內(nèi)容,本文做了補(bǔ)充和豐富。
4、盡快解決工業(yè)基礎(chǔ)類傳感器中“有器無芯”問題——培養(yǎng)眾多傳感器企業(yè)家
結(jié)束語
附錄:國內(nèi)最具影響力傳感器企業(yè)盤點(diǎn)
其他具有行業(yè)影響力的傳感器企業(yè):
序號(hào) | 單位(企業(yè))名稱 | 主要產(chǎn)品 | 單位水平簡述 |
13 | 深迪半導(dǎo)體(上海)有限公司 | 商用MEMS陀螺儀系列,慣性傳感器的MEMS芯片 | 我國目前規(guī)模量產(chǎn)商用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)企業(yè),是我國商用微機(jī)電系統(tǒng)慣性傳感器領(lǐng)域的龍頭企業(yè)。 |
14 | 蘇州明皜傳感科技有限公司 | 加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器、磁傳感器 | 國內(nèi)MEMS傳感器技術(shù)的創(chuàng)新者和開拓者。主要從事MEMS傳感器的研發(fā)、設(shè)計(jì)和生產(chǎn),并提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)。 |
15 | 上海矽??萍?br /> 有限公司 | MEMS傳感器、加速度傳感器、AMR磁傳感器系列、光傳感器、氣壓高度計(jì)、陀螺儀、組合慣性傳感器 | 專業(yè)從事高端MEMS傳感器和執(zhí)行器、微系統(tǒng)等技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)及銷售。 |
16 | 水木智芯科技(北京)有限公司 |
z軸陀螺整套產(chǎn)品: 配備自主研發(fā)ASIC電路;具有OTP模塊;可實(shí)現(xiàn)用戶編程 |
集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的專業(yè)性高科技企業(yè),帶動(dòng)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,打造MEMS在中國的產(chǎn)業(yè)鏈,使中國成為世界MEMS主要的研發(fā)、制造基地。 |
17 | 山東共達(dá)電聲股份有限公司 | 麥克風(fēng) | 專業(yè)的電聲元器件及電聲組件制造商、服務(wù)商和電聲技術(shù)整體解決方案提供商,是國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)、中國電子元件百強(qiáng)企業(yè)。 |
18 | 蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司 | MEMS硅麥克風(fēng)聲學(xué)傳感器、硅壓力傳感器和加速度傳感器 | 國內(nèi)最早成立的MEMS研發(fā)公司之一。管理團(tuán)隊(duì)具有深厚的半導(dǎo)體及MEMS產(chǎn)業(yè)背景,核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)有在國內(nèi)外頂尖大學(xué)微電子實(shí)驗(yàn)室從事MEMS與集成電路(IC)技術(shù)研究的寶貴經(jīng)驗(yàn)。 |
19 | 無錫芯奧微傳感技術(shù)有限公司 | MEMS麥克風(fēng)MEMS陀螺儀、MEMS加速計(jì)和MEMS高度計(jì) | 從事MEMS傳感器研究、開發(fā)和生產(chǎn)的公司,專注于提供高品質(zhì)的半導(dǎo)體硅基麥克風(fēng)及其他傳感器件產(chǎn)品。 |
20 | 艾普柯微電子(上海)有限公司 | 光傳感器,光感距離傳感器產(chǎn)品線,TOF傳感器,心率傳感器,TWS上超薄距離傳感器 | 中國大陸領(lǐng)先的光電傳感器公司,專注于光電傳感器的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)及銷售,為客戶提供專業(yè)解決方案。在深圳、無錫、香港設(shè)有分支。 |
21 | 諾思(天津)微系統(tǒng)有限責(zé)任公司 | 硅襯底的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)的FBAR射頻濾波器 | 中國首家FBAR生產(chǎn)企業(yè),從事無線設(shè)備射頻前端MEMS濾波芯片、模塊、應(yīng)用方案的設(shè)計(jì)、研發(fā)、制造和銷售,核心產(chǎn)品具有國際領(lǐng)先水平。 |
22 | 北京青鳥元芯微系統(tǒng)科技有限責(zé)任公司 | 系列化微型濕度傳感器及模塊、MEMS壓力傳感器芯片、MEMS壓力傳感器、加速度傳感器及相關(guān)傳感器模塊和解決方案 | 國內(nèi)第一家采用MEMS技術(shù)批量生產(chǎn)微型傳感器的高科技企業(yè)。各種微型傳感器芯片均采用具有國際先進(jìn)水平的MEMS設(shè)備生產(chǎn),生產(chǎn)能力達(dá)到月產(chǎn)傳感器一百萬只以上;產(chǎn)品的測(cè)試環(huán)境也居國內(nèi)先進(jìn)水平。一流的生產(chǎn)設(shè)備和超凈加工環(huán)境為“青鳥元芯”傳感器提供了可靠的質(zhì)量保證。 |
23 | 昆山雙橋傳感器測(cè)控技術(shù)有限公司 | 一為通用型表壓、差壓、絕壓傳感器;二為高特難新類高檔儀表傳感器;三為采用智能化技術(shù)開發(fā)的汽車壓力傳感器、物聯(lián)網(wǎng)用傳感器 | 昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地核心骨干企業(yè),致力于MEMS壓阻壓力傳感器的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。 |
24 |
麥克傳感器股份 有限公司 |
壓力傳感器、變送器、電磁流量計(jì)、溫度儀表、手持設(shè)備、物聯(lián)網(wǎng)末端采集與無線傳輸裝置 | 中國OEM壓阻式壓力傳感器的行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)之一,擁有數(shù)十年擴(kuò)散硅壓力傳感器、變送器的設(shè)計(jì)研發(fā)和生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)。 |
25 | 山東昊潤自動(dòng)化技術(shù)有限公司 | 液位、硅電容智能傳感器、硅壓阻OEM傳感器 | 通過與世界著名的傳感器設(shè)計(jì)者和生產(chǎn)商-芬蘭VTI公司開展深入合作,引進(jìn)世界領(lǐng)先的3D-MEMS技術(shù),硅電容傳感器生產(chǎn)線,年生產(chǎn)規(guī)模1500萬只。 |
26 | 北京廣微積電科技有限公司 | MEMS傳感器的研發(fā)、壓力傳感器、高端數(shù)?;旌霞呻娐芳癕EMS(微機(jī)電)傳感器 | 致力于高端數(shù)?;旌霞呻娐芳癕EMS傳感器和驅(qū)動(dòng)器的研制生產(chǎn)。憑借雄厚的資金實(shí)力、先進(jìn)的管理制度、首屈一指的研發(fā)團(tuán)隊(duì),自公司創(chuàng)始至今,成功突破了多項(xiàng)行業(yè)內(nèi)技術(shù)難題,實(shí)現(xiàn)了高精度技術(shù)的規(guī)模化生產(chǎn)應(yīng)用。 |
27 | 罕王微電子(遼寧)有限公司 | 壓力傳感器、氣體傳感器、接近傳感器,消費(fèi)級(jí)壓力傳感器、麥克風(fēng)、磁力計(jì)等 | 擁有8英寸MEMS芯片產(chǎn)業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)線,工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程。 |
28 | 南京高華科技股份有限公司 | 傳感器芯體及敏感部分、通用傳感器、特種傳感器、軌道交通傳感器等 | 研制高可靠MEMS傳感器、慣性測(cè)量單元(IMU),及物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)工程為主導(dǎo)的國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè),擁有南京市MEMS傳感工程技術(shù)研究中心、南京市MEMS智能裝置傳感技術(shù)研究中心、江蘇省高性能MEMS慣性傳感器工程研究中心、江蘇省企業(yè)技術(shù)中心、江蘇省企業(yè)研究生工作站。 |
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陜西創(chuàng)威科技 有限公司 |
高端壓力、溫度計(jì)量校準(zhǔn)儀表 | 主要從事熱工領(lǐng)域高端壓力、溫度計(jì)量校準(zhǔn)儀表的研發(fā)、制造、銷售。 |
30 | 安徽感航電子科技有限公司 | 差動(dòng)變壓器式位移傳感器、非接觸式電渦流傳感器、磁致伸縮位置傳感器、光電反射算法芯片的機(jī)器人室內(nèi)定位傳感器、MEMS玻璃微融技術(shù)的低成本壓力和力傳感器,微差壓(風(fēng)壓)傳感器 | 一家專業(yè)研發(fā)制造和銷售傳感器、智能裝備與系統(tǒng)解決方案的高科技公司;不斷推出智能制造、產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新所需的核心零部件產(chǎn)品,產(chǎn)品可靠性、穩(wěn)定性及一致性達(dá)到國際先進(jìn)水平,多項(xiàng)研究成果填補(bǔ)國內(nèi)空白。 |
31 | 上海艾絡(luò)格電子技術(shù)有限公司 | 智能壓力傳感器、智能壓力變送器、智能溫度變送器、ASP密度計(jì) | 從事儀器儀表、工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng)、高可靠性數(shù)據(jù)采集、通訊組件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售業(yè)務(wù)。 |
32 | 杭州麥樂克科技股份有限公司 | 傳感器、傳感器模塊、紅外濾光片 | 專業(yè)從事中高端紅外特征敏感元件,傳感器及傳感技術(shù)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售,為客戶提供技術(shù)支持等全套產(chǎn)品解決方案的高新技術(shù)企業(yè),建立美國(華盛頓)、加拿大(多倫多)、德國(斯圖加特)、日本(東京)、韓國(首爾)五個(gè)辦事處,銷售網(wǎng)絡(luò)遍布全球,擁有國際性的營銷網(wǎng)絡(luò)和研發(fā)團(tuán)隊(duì)。 |
33 | 山東佰測(cè)傳感科技股份有限公司 | 數(shù)字傳感器、壓力傳感器、高精度壓力變送器、一體化溫度變送器等。 | 從事傳感與控制的高新技術(shù)企業(yè)。專業(yè)設(shè)計(jì)、精工制造的壓力、真空、液位、溫度、流量等測(cè)量儀器以及數(shù)字顯示控制儀表。 |
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江蘇杰克儀表 有限公司 |
智能壓力變送器、差壓變送器、液位變送器、流量變送器、擴(kuò)散硅壓力變送器、溫度變送器、壓力表、WZ系列熱電阻、WR系列熱電偶等產(chǎn)品 | 一家實(shí)力雄厚的自動(dòng)化儀表制造商,九十年代引進(jìn)了國外先進(jìn)技術(shù)和設(shè)備,是從事儀表的研制,開發(fā),生產(chǎn)及銷售的專業(yè)公司。 |
35 | 南京航伽電子科技有限公司 | 壓力傳感器、溫度變送器、隔膜壓力變送器、防爆型壓力變送器、精巧型壓力變送器、衛(wèi)生型壓力變送器、平膜型壓力變送器、單晶硅壓力變送器、防腐型壓力變送器、高溫型壓力變送器、單晶硅差壓變送器、投入式液位變送器,物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用 | 專注于傳感器,變送器及物聯(lián)網(wǎng)的高科技企業(yè),主要從事各類智能型壓力變送器,各類測(cè)量控制系統(tǒng)軟件,物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)。公司擁有國內(nèi)一流的研發(fā)隊(duì)伍,生產(chǎn)設(shè)備,檢測(cè)儀器和售后服務(wù)體系,在國內(nèi)同行業(yè)處于領(lǐng)先地位。 |
36 | 深圳尼賽拉傳感有限公司 | 熱釋電紅外傳感器、菲涅爾透鏡、紅外小信號(hào)處理專用IC,各種通用IC。 | 致力熱釋電紅外傳感器、測(cè)量測(cè)試、試驗(yàn)儀器、及工業(yè)智能自動(dòng)化控制系統(tǒng)研制和集成應(yīng)用的高新科技企業(yè)。 |
遴選標(biāo)準(zhǔn):注冊(cè)資本金在5000萬人民幣以上,有代表性的傳感器技術(shù)或產(chǎn)品,有產(chǎn)品生產(chǎn)線,特別是有芯片制備工藝線優(yōu)先,在行業(yè)上有較高的影響力和知名度,傳感器為“主業(yè)”占本單位年銷售額30%以上。(研究院所和高等院校不在此列)
來源:傳感器國家工程研究中心
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