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基于硅鍺材料低成本中波紅外光學系統(tǒng)無熱化設(shè)計

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-06-06 14:39 ? 次閱讀

光學成像末制導系統(tǒng)中,制冷紅外光學系統(tǒng)具有成像質(zhì)量好、探測精度高、抗干擾能力強和可全天時工作等突出優(yōu)點。但由于彈載環(huán)境極端惡劣,需確保光學系統(tǒng)在110℃寬溫范圍、高沖擊過載的環(huán)境下正常工作,因此要求系統(tǒng)具有性能優(yōu)良、技術(shù)成熟、可靠性高、加工工藝性好、易于裝調(diào)、良品率高等技術(shù)特點,同時還需降低生產(chǎn)制造成本,利于后期大批量生產(chǎn)。

據(jù)麥姆斯咨詢報道,近期,哈爾濱新光光電科技股份有限公司、火箭軍裝備部駐哈爾濱地區(qū)軍事代表室和哈爾濱工業(yè)大學的聯(lián)合科研團隊在《紅外技術(shù)》期刊上發(fā)表了以“基于硅鍺材料低成本中波紅外光學系統(tǒng)無熱化設(shè)計”為主題的文章。該文章第一作者和通訊作者為新光光電賀磊高級工程師,主要從事光學系統(tǒng)設(shè)計、光學導引頭設(shè)計與研制等方面的研究工作。

本文針對中波紅外640 × 512制冷型探測器,采用兩軸框架式總體布局方式,基于常用硅鍺兩種材料,使用一次成像3片式光學結(jié)構(gòu)設(shè)計了一個中波紅外制冷光學系統(tǒng),結(jié)構(gòu)簡單,透過率高,像質(zhì)優(yōu)良,實現(xiàn)了中波制冷紅外導引頭的低成本、無熱化設(shè)計。

兩軸框架式工作原理

目前常用的成像位標器穩(wěn)定平臺多采用俯仰和方位二自由度框架結(jié)構(gòu),簡單緊湊,兩通道相互獨立、耦合少。布局形式為內(nèi)外框架組成的萬向支架式結(jié)構(gòu)。萬向節(jié)中心與整流罩球心重合,外框架方位運動,內(nèi)框架俯仰運動,實現(xiàn)大視場掃描。圖1為這種導引頭的結(jié)構(gòu)示意圖。

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圖1 兩軸框架式導引頭結(jié)構(gòu)示意圖

設(shè)計實例

光學技術(shù)指標

紅外光學系統(tǒng)的主要光學技術(shù)指標包括:工作波段、焦距、視場、F數(shù)、光學畸變、像元尺寸和工作溫度等。本設(shè)計實例基于某制冷紅外系統(tǒng),采用F數(shù)為2的640 × 512中波紅外探測器斯特林制冷,像元尺寸為15 μm,實現(xiàn)100%冷光闌效率,同時要求光學系統(tǒng)具有成本低、可靠性高,環(huán)境適應性強的技術(shù)特點,詳細光學系統(tǒng)設(shè)計指標如表 1所示。

表1 光學技術(shù)指標

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光學結(jié)構(gòu)形式及材料的選取

紅外制冷光學系統(tǒng)(定焦)的結(jié)構(gòu)形式分為一次成像和二次成像兩種光學結(jié)構(gòu)形式。一次成像結(jié)構(gòu)簡單,鏡片數(shù)量少,透過率高,易裝校,但窗口尺寸大;二次成像結(jié)構(gòu)入瞳位于窗口上,窗口尺寸小,但系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對復雜,鏡片數(shù)量多,對零件的裝配精度也提出了相對較高的要求,透過率稍低。文獻采用二次成像結(jié)構(gòu)與高精度調(diào)焦平臺相結(jié)合的形式實現(xiàn)了機載緊湊型中波紅外相機的設(shè)計。

紅外材料按透射波段可分為兩大類:中波材料(3~5 μm)和長波材料(8~14 μm)。在工程應用中,中波系統(tǒng)中常用Si,Ge,ZnSe,ZnS等。在長波系統(tǒng)中常用,Ge,ZnSe,ZnS等,此外硫系玻璃在紅外系統(tǒng)中也有大量應用。有文獻是基于硫系玻璃實現(xiàn)中波紅外光學系統(tǒng)無熱化設(shè)計。文獻利用折/衍混合同時實現(xiàn)了復消色差和消熱差設(shè)計。隨著光學面型加工精度的提高,非球面上附加衍射面的加工也已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn),為消熱差設(shè)計提供了更多的自由度。

本系統(tǒng)采用二軸伺服框架控制方式,綜合考慮系統(tǒng)的使用目的、空間尺寸和技術(shù)指標要求,主要解決系統(tǒng)低成本和無熱化問題。光學系統(tǒng)采用一次成像結(jié)構(gòu),運用高級像差理論,合理分配各透鏡的光焦度,考慮光學材料的熱膨脹系數(shù),平衡光學像差和熱差之間的矛盾,選用最常用、穩(wěn)定性好、加工工藝成熟的硅、鍺作為透鏡材料,使用3片式Si-Ge-Si布局形式,并在鍺透鏡上采用二元衍射面設(shè)計,減少鏡片數(shù)量,降低光學裝校難度,提高透過率,在提升系統(tǒng)環(huán)境適應性的同時,實現(xiàn)了低成本研制,適于批量生產(chǎn)。

無熱化設(shè)計原理

在紅外光學系統(tǒng)中,當環(huán)境溫度發(fā)生變化時,光學材料和機械材料的熱效應將使得光學材料折射率變化、光學元件曲率半徑變化、以及光學元件厚度和空氣間隔變化。這些變化將導致嚴重的熱離焦,從而使紅外光學系統(tǒng)的像質(zhì)下降,圖像模糊不清,對比度下降,最終影響整機系統(tǒng)的性能,為此需要采用無熱化技術(shù)消除環(huán)境變化的影響。

對于定焦距紅外光學系統(tǒng),目前其無熱化技術(shù)主要采用光學被動式。光學被動式特點為:結(jié)構(gòu)簡單、尺寸較小、質(zhì)量輕、無需供電和可靠性高。

設(shè)計結(jié)果及像質(zhì)評價

通過反復優(yōu)化設(shè)計,光學系統(tǒng)鏡頭參數(shù)數(shù)據(jù)表如表2所示,光學系統(tǒng)如圖2所示,光學系統(tǒng)主要由頭罩和3片透鏡組成,其中頭罩材料為藍寶石材料,透鏡材料為硅和鍺,結(jié)構(gòu)支撐件材料為鋁。透鏡1和透鏡3為正透鏡。采用傳統(tǒng)的常規(guī)球面硅透鏡,材料價格低,易于加工。

表2 光學鏡頭參數(shù)表

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圖2 光學系統(tǒng)圖

衍射效率是衍射光學元件的一個重要性能指標,經(jīng)計算衍射效率為0.98。二元面面型結(jié)構(gòu)如圖3所示。

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圖3 二元面面型

圖4~圖6為不同溫度下系統(tǒng)的傳遞函數(shù)曲線,圖7為光學系統(tǒng)的畸變曲線。

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圖4 20℃時MTF曲線

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圖5 -40℃時MTF曲線

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圖6 +70℃時MTF曲線

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圖7 光學系統(tǒng)場曲和畸變

從上述分析結(jié)果可知,在工作溫度-40℃~+70℃內(nèi),在奈奎斯特頻率為33 lp/mm時,不同溫度下的光學系統(tǒng)成像質(zhì)量優(yōu)良、無熱化效果良好,畸變最大值為0.57%,滿足技術(shù)指標要求具體數(shù)值(最小值)詳見表3。

表3 不同溫度下MTF值(最小值)

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冷反射分析

制冷紅外光學系統(tǒng)中冷反射是評價和計算紅外系統(tǒng)性能的重要指標之一,本文通過ZEMAX光學設(shè)計軟件建立非序列模型,進行實際光線追跡,分析模型如圖 8所示,分析結(jié)果如圖9、圖10所示。

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圖8 三維分析模型

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圖9 像面非相干照度灰度圖

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圖10 像面非相干照度曲線(X、Y)

從上述分析結(jié)果可以看出,冷反射分布曲線無明顯的峰值,曲線相對平直,成彌散分布,像面非相干照度非均勻性X方向為13%,Y方向為11%。

公差分析

光學系統(tǒng)公差包括零件加工允許誤差和系統(tǒng)裝校的允許誤差。光學系統(tǒng)在設(shè)計時,在滿足系統(tǒng)指標要求的前提下,還要充分考慮光學系統(tǒng)各結(jié)構(gòu)參數(shù)的公差分配,如光學透鏡加工的面型精度、厚度、偏心;系統(tǒng)裝校時,各透鏡之間的相對傾斜、間隔、同軸度等因素。合理的公差分配,可極大地提高光學系統(tǒng)的加工和裝校效率,提升產(chǎn)品的良品率,降低產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。本文表4為系統(tǒng)的零件加工公差,表5為零件裝配公差,以上述公差為分析依據(jù),通過光學軟件進行蒙特卡洛公差分析,光學系統(tǒng)MTF分析結(jié)果如圖11所示。

表4 零件加工公差

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表5 零件裝配公差

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圖11 公差分析曲線

通過上述公差分析結(jié)果可知:光學系統(tǒng)在0視場有95%的裝配概率MTF值大于0.58@33 lp/mm,0.7視場有92%的裝配概率MTF值大于0.36@33 lp/mm,全視場90%的裝配概率MTF值大于0.28@33 lp/mm,裝配工藝性良好,良品率高,滿足系統(tǒng)指標要求。

工程實現(xiàn)及測試結(jié)果

光學系統(tǒng)進行精密裝校后,工程樣機和成像效果如圖 12所示,使用TRIOPTICS全歐光學傳遞函數(shù)測量儀對光學系統(tǒng)的傳遞函數(shù)和畸變進行測試,測試結(jié)果如圖13、圖14所示。從測試結(jié)果可以看出,所研制的工程樣機成像質(zhì)量優(yōu)良,無明顯冷反射現(xiàn)象,滿足技術(shù)指標要求。

圖12 精密裝校后的光學系統(tǒng)

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圖13 實測MTF曲線圖

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圖14 實測畸變曲線圖

結(jié)論

為滿足中波紅外制導光學系統(tǒng)低成本和無熱化的要求,本文采用兩軸框架式導引頭總體布局方式,設(shè)計一種高分辨率中波制冷紅外成像制導光學系統(tǒng)。在設(shè)計過程中,采用一次成像3片式光學結(jié)構(gòu),基于穩(wěn)定性好的硅鍺材料,配合使用折-衍混合設(shè)計手段,實現(xiàn)了光學系統(tǒng)-40℃~+70℃無熱化設(shè)計。開展工程樣機研制和成像效果實驗。經(jīng)實測,光學系統(tǒng)的軸上視場傳遞函數(shù)(最小值)MTF≥0.55@33 lp/mm,0.7視場傳遞函數(shù)(最小值)MTF≥0.35@33 lp/mm,全視場畸變測試值為0.65%,冷光闌效率100%,無冷反射現(xiàn)象,成像質(zhì)量優(yōu)良,滿足技術(shù)指標要求。光學系統(tǒng)易加工裝調(diào)、良品率高、成本低,適于批量生產(chǎn),可廣泛應用于光學成像制導、搜索、跟蹤和偵察等領(lǐng)域。

審核編輯:湯梓紅
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原文標題:基于硅鍺材料低成本中波紅外光學系統(tǒng)無熱化設(shè)計

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