10.4.3 納米壓?。∟IL）∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》
Nanoimprint Lithography
https://www.smics.com
美國科天（KAL-Tencor）公司 蕭宏
審稿人：北京大學 張興 蔡一茂
https://www.pku.edu.cn
10.3 集成電路新材料
第10章 集成電路基礎研究與前沿技術(shù)發(fā)展
《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊
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