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6.4.2.3 p型SiC的歐姆接觸∈《碳化硅技術(shù)基本原理——生長(zhǎng)、表征、器件和應(yīng)用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-26 10:08 ? 次閱讀

6.4.2.3 p型SiC的歐姆接觸

6.4.2 n型和p型SiC的歐姆接觸

6.4 金屬化

第6章碳化硅器件工藝

《碳化硅技術(shù)基本原理——生長(zhǎng)、表征、器件和應(yīng)用》

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