陸芯半導(dǎo)體切割機(jī)：精密劃片機(jī)維護(hù)及保養(yǎng)

精密劃片機(jī)是一種高精密設(shè)備，精度的穩(wěn)定性、使用的安全性及可靠性都與工作的環(huán)境、維護(hù)保養(yǎng)息息相關(guān)。

1 、環(huán)境與外圍要求

劃片機(jī)必須安裝在無(wú)振動(dòng)源，室內(nèi)溫度為 20 、25 攝氏度的凈化間內(nèi)，并配有氣源、水源、電源、排污口、抽霧裝置等。

氣源要求是經(jīng)過(guò)過(guò)濾、冷凝、卜燥潔凈的壓縮空氣，壓力不低于 0 . 5 入 IPa ，過(guò)濾精度大于 0 . 01 " m ，露點(diǎn)一 15℃ 、除去油分 99 . 5 ％。

主軸冷卻水建議用去離子水，壓力不低于 0 . 2 即 a ，流量大于 1 . SL / min ，溫度保證在 20 ℃ 士 1 ℃ ，應(yīng)保證主軸熱穩(wěn)定性好。

刀片冷卻水建議壓力不低于 0 . 2 凡護(hù) a ，流量大于 2 . 0L / min 。電源電壓 38ov 土 10 % , 50 / 60112 ，電壓波動(dòng)不能超出該范圍，若超出會(huì)給主軸變壓器工作帶來(lái)困難。設(shè)備必須安全可靠接地。

2、注意事項(xiàng)使用操作設(shè)備前仔細(xì)閱讀使用說(shuō)明書(shū)。維護(hù)與保養(yǎng)的人員必須是受過(guò)相關(guān)培訓(xùn)合格的人員。維修之前必須斷開(kāi)電源，在電源關(guān)斷 smin 后方可打開(kāi)設(shè)備。等主軸完全停止后，再關(guān)氣源、水源，切忌無(wú)氣時(shí)用手轉(zhuǎn)動(dòng)主軸。

不要把東西遺忘放在運(yùn)動(dòng)部件或設(shè)備中。

未經(jīng)制造商授權(quán)或確認(rèn)不要改動(dòng)原有結(jié)構(gòu)及功能。

3 、定期保養(yǎng)

3 . 1 天檢查檢查供給氣源、水源壓力傳感器。

主軸手撥轉(zhuǎn)動(dòng)情況。

夾刀法蘭是否有劃痕和污物。

吸盤(pán)有無(wú)劃痕或損傷。

急停開(kāi)關(guān)的好壞。切割區(qū)防水罩有無(wú)破損以及密封處有無(wú)滲漏。清潔主軸頭部劃切帶上的粉塵。

清潔切割區(qū)污物，并用氣槍吹干吸盤(pán)及周?chē)帧?/p>

3 . 2 月檢查

夾刀法蘭情況。

吸盤(pán)的平整度。

3 . 3 半年檢查 x 向、 y 向、 z 向?qū)к墲?rùn)滑情況并加潤(rùn)滑脂。

刀架的緊固情況。

主軸冷卻水路。

3 . 4 每年檢查檢查 x 向水平、垂直方向的直線性。

檢查主軸刀架端面與 x 軸的平行度。

檢查主軸徑向、軸向跳動(dòng)。

Z 軸同步齒形帶的調(diào)整。

清潔真空發(fā)生器。

清潔非接觸測(cè)高傳感器。

清潔刀體破損檢測(cè)器。

檢查光源燈箱中的鹵素?zé)?，建議更換。

檢查空氣過(guò)濾器和微霧分離器的濾芯，建議更換。

檢查主軸碳刷，建議更換。

檢查切割區(qū)導(dǎo)軌防水罩，建議更換。

流量計(jì)調(diào)節(jié)靈活準(zhǔn)確性。

更換操作鍵盤(pán)面膜。

更換對(duì)準(zhǔn)照明用的發(fā)光二極管。

上述只是就維護(hù)與保養(yǎng)淺談了一些建設(shè)性建議，還需不同的用戶根據(jù)具體使用情況在總結(jié)。維護(hù)保養(yǎng)做得好，設(shè)備就可以長(zhǎng)期健康高效的為用戶提供生產(chǎn)保證。切忌不對(duì)設(shè)備定期保養(yǎng)和維護(hù)，只等有了問(wèn)題解決，這反而會(huì)影響緊張的生產(chǎn)，更可能增加維護(hù)保養(yǎng)的難度和成本。