白光干涉儀自動拼接測量功能介紹

SuperViewW1白光干涉儀測量小尺寸樣品時，可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件；而測量大尺寸樣品時，支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。

測量方法

1.點擊XY復(fù)位，使得鏡頭復(fù)位到載物臺中心
2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；
3.確認(rèn)電機連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件；
4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋；
5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍；
6.點擊選項圖標(biāo)，確認(rèn)自動找條紋上下限無誤；
7.點擊多區(qū)域測量圖標(biāo)，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區(qū)域形狀；
8.根據(jù)被測物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設(shè)置；
9.點擊彈出框右下角的“開始”圖標(biāo)，儀器即自動完成多個區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。