芯碁微裝推出WA 8晶圓對準機與WB 8晶圓鍵合機助力半導體加工

【CPCA印制電路信息】根據(jù)芯碁微裝官微整理報道

近日，芯碁微裝又推出WA 8晶圓對準機與WB 8晶圓鍵合機，此兩款設(shè)備均為半導體加工過程中的關(guān)鍵設(shè)備。除此之外，芯碁微裝也提出先進封裝所需要的量測、曝光、檢測的技術(shù)路線圖，期待與半導體產(chǎn)業(yè)界客戶進行更緊密的合作。

WA 8 晶圓對準機

WA 8晶圓對準機是一款操作便捷、靈活性高、能夠?qū)崿F(xiàn)模塊化升級的高精度晶圓對準設(shè)備，適用于4、6、8英寸晶圓。該設(shè)備可用于先進封裝、MEMS生產(chǎn)和需要亞微米級精確對準的應(yīng)用場景。

產(chǎn)品優(yōu)勢

亞微米級對準精度

適用于透明或非透明晶圓的電動高分辨率BSA顯微鏡系統(tǒng)

電動高精度對準平臺

晶圓楔角誤差補償系統(tǒng)

快速更換不同尺寸晶圓

免維護的獨立氣浮平臺

WB 8 晶圓鍵合機

WB 8晶圓鍵合機能夠?qū)崿F(xiàn)所有類型的鍵合，如陽極鍵合、熱壓鍵合等。支持最大晶圓尺寸為8英寸，采用半自動化操作，可運用于先進封裝、MEMS等多種應(yīng)用。該設(shè)備采用了上下對稱的快速加熱和冷卻系統(tǒng)，并配備高性能施壓系統(tǒng)，從而確保鍵合工藝的高效完成。

產(chǎn)品優(yōu)勢

鍵合過程中的最大壓力可達100kN，最高溫度可達550°C

全自動工藝流程

優(yōu)異的溫度、壓力均勻性

高真空度鍵合腔室

快速抽真空、加熱和冷卻過程，提高產(chǎn)能

全部系統(tǒng)為電氣化驅(qū)動，沒有油污污染風險

審核編輯：劉清