隧穿氧化物鈍化接觸(TOPCon)技術(shù)仍吸引著光伏行業(yè)生產(chǎn)商的大量關(guān)注。然而,在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,電池會(huì)遇到繞鍍和邊緣漏電流的問(wèn)題。這些現(xiàn)象會(huì)導(dǎo)致電池的光學(xué)和電學(xué)性能下降,如開(kāi)路電壓(Voc)、短路電流密度(Jsc)和填充因子(FF)。美能CLT210是專為RCA工藝段研究設(shè)計(jì)的漏電流測(cè)試儀,可以對(duì)230mm以下樣品進(jìn)行快速、自動(dòng)的測(cè)量,獲得樣品邊緣漏電流信息,幫助廠商改善生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對(duì)繞鍍和邊緣漏電流等問(wèn)題。
擴(kuò)散后硅片背面、邊緣形成的擴(kuò)散層、雜質(zhì)層
硅片經(jīng)過(guò)擴(kuò)散制結(jié)后,在其表面(包括正面、背面以及四周邊緣)上會(huì)形成擴(kuò)散層和二氧化硅層。目前市面上大多數(shù)廠家生產(chǎn)都采用單面擴(kuò)散的方式,即硅片以成對(duì)背面貼背面的形式放置,但是擴(kuò)散雜質(zhì)氣體仍會(huì)穿過(guò)硅片之間的縫隙,所以硅片的另一面也會(huì)不可避免的擴(kuò)散進(jìn)雜質(zhì)。
TOPCON工序流程
在P型硅片上制PN結(jié),擴(kuò)散的雜質(zhì)為磷,POCl3分解產(chǎn)生的P2O5沉積在硅片四周的表面,形成由磷原子、二氧化硅、和P2O5組成的混合物——磷硅玻璃(PSG)。在N型硅片上制PN結(jié),擴(kuò)散過(guò)程中形成的為硼硅玻璃(BSG)。兩種雜質(zhì)層的去除工序相仿。
當(dāng)太陽(yáng)能電池實(shí)際應(yīng)用時(shí),光照在電池正面產(chǎn)生的光生載流子會(huì)沿著四周邊緣的擴(kuò)散層和雜質(zhì)磷硅玻璃層流到電池的背面,從而降低太陽(yáng)能電池的并聯(lián)電阻,還會(huì)造成電極短路。
因此,太陽(yáng)能電池背面和邊緣的擴(kuò)散層以及磷硅玻璃層PSG必須去除。
邊緣刻蝕的三種工藝方式
1.等離子體刻蝕
目前等離子體刻蝕方法基本只在實(shí)驗(yàn)室中使用,在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中已經(jīng)不再使用。這種方法通常是先通過(guò)化學(xué)方式去除殘留的原生氧化物或擴(kuò)散氧化物,然后將硅片整齊的“堆疊”起來(lái),方式類似于將硬幣堆成一堆。然后將堆疊的硅片放置在等離子室中,目前大多數(shù)使用CF4+O2或SF4+O2作為反應(yīng)氣體,產(chǎn)生的腐蝕性離子氣體將堆疊硅片的暴露邊緣蝕刻,從而有效的去除邊緣的擴(kuò)散硅。
等離子體刻蝕設(shè)備原理圖
該方式的優(yōu)點(diǎn)是刻蝕速率快,且各向同性,刻蝕后不會(huì)改變硅片的形貌。但對(duì)于刻蝕時(shí)間需要嚴(yán)格把控。較短的刻蝕時(shí)間會(huì)導(dǎo)致刻蝕不充分,邊緣的雜質(zhì)去除不干凈,導(dǎo)致PN結(jié)并聯(lián)電阻降低,甚至短路。而較長(zhǎng)的時(shí)間會(huì)導(dǎo)致硅片邊緣過(guò)度損壞,從而損壞PN結(jié),形成高復(fù)合區(qū)。
2.激光邊緣刻蝕隔離
激光邊緣刻蝕隔離,也叫激光劃線。使用激光在太陽(yáng)能電池正面靠近邊緣進(jìn)行燒蝕,形成具有一定深度的封閉溝槽,從而有效地切斷通向邊緣的電流路徑,實(shí)現(xiàn)太陽(yáng)能電池的正面電極與背面的PN結(jié)隔離絕緣。與其他工藝不同,激光摻雜邊緣隔離是在絲網(wǎng)印刷漿料并燒結(jié)后進(jìn)行的。
激光邊緣隔離示意圖
激光邊緣刻蝕隔離工藝本身不能提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率,但在與其他工藝相比,可以顯著減小效率損失。
以上兩種工藝都屬于干法刻蝕邊緣方法,而濕法刻蝕是通過(guò)溶液腐蝕方法將不需要的雜質(zhì)去除。
3.濕法刻蝕
濕法刻蝕擴(kuò)散層,是通過(guò)硝酸將硅片背面和邊緣氧化,形成二氧化硅,氫氟酸與二氧化硅反應(yīng)生成絡(luò)合物六氟硅酸,同時(shí)去除擴(kuò)散層與磷硅玻璃層PSG。主要反應(yīng)式如下:
HNO3+Si→SiO2+NOX↑+H2O
SiO2+4HF→SiF4+2H2O
SiO4+2HF→H2[SiF6]
2NO2+H2O→HNO3+HNO2
Si+4HNO2→SiO2+4NO+2H2O
HNO3+2NO+H2O→3HNO2
在刻蝕過(guò)程中,必須保證太陽(yáng)能電池的正面即PN結(jié)不被腐蝕。在這一要求下,目前硅片滾輪攜液刻蝕方法優(yōu)于漂浮刻蝕方法。
滾輪攜液刻蝕工藝微晶硅μc-Si:H薄膜
采用滾輪將溶液帶到硅片背面和周邊進(jìn)行刻蝕,硅片由滾輪拖著前行,液面比滾輪的上表面要低。利用滾輪上的毛細(xì)作用吸附硅片,使硅片在流動(dòng)的溶液中移動(dòng)時(shí)不會(huì)偏離位置和方向。
滾輪攜液方式的濕法刻蝕設(shè)備刻蝕原理示意圖
生產(chǎn)工藝總共分9個(gè)步驟進(jìn)行:裝硅片→水噴淋→邊緣腐蝕→沖洗→堿(KOH)清洗→沖洗→酸(HF)洗→沖洗→風(fēng)刀吹干→卸硅片
刻蝕工藝監(jiān)控檢測(cè)
硅片邊緣擴(kuò)散層和表面玻璃層被刻蝕后,還需要進(jìn)行外觀表面檢查和導(dǎo)電型號(hào)檢查。
外觀表面質(zhì)量檢查采用目視檢查和顯微鏡觀測(cè)。導(dǎo)電型號(hào)可以通過(guò)整流法檢測(cè)。通過(guò)金屬探針與半導(dǎo)體之間接觸,起到整流作用,形成非對(duì)稱電導(dǎo)。對(duì)于n型半導(dǎo)體,由金屬探針指向半導(dǎo)體為導(dǎo)通方向;對(duì)于p型半導(dǎo)體,由半導(dǎo)體指向金屬為導(dǎo)通方向。通過(guò)檢測(cè)硅片四周邊緣的電阻值,來(lái)判斷導(dǎo)通方向是否正確。
美能漏電流測(cè)試儀
美能漏電流測(cè)試儀CLT210可以對(duì)230mm以下樣品進(jìn)行快速、自動(dòng)的測(cè)量,獲得樣品邊緣漏電流信息。探針頭采用鍍金材質(zhì),確保高機(jī)械精度和長(zhǎng)使用壽命。電流測(cè)試范圍:0.1μΩ~110 MΩ可涵蓋絕大部分應(yīng)用場(chǎng)景,可滿足行業(yè)內(nèi)對(duì)RCA工段漏電流的監(jiān)控需求,屬于業(yè)內(nèi)唯一一款可以實(shí)現(xiàn)量化兼顧定位功能的測(cè)試漏電流的儀器設(shè)備。
超寬測(cè)量范圍:0.1μΩ~110 MΩ
測(cè)量速度:~1秒/點(diǎn)
最大樣品尺寸:230 mm*230 mm
高精度定位一鍵自動(dòng)化測(cè)量
總之,目前的硅片刻蝕技術(shù)一直在不斷進(jìn)步,各種工藝方式都有優(yōu)缺點(diǎn),都仍在不斷的改進(jìn)中,對(duì)應(yīng)的就需要相關(guān)的設(shè)備在工藝完成后進(jìn)行檢測(cè),以判斷硅片擴(kuò)散后背面和邊緣形成的擴(kuò)散層和磷硅玻璃層是否完全去除。美能CLT210是專為RCA工藝段研究設(shè)計(jì)的漏電流測(cè)試儀,為幫助用戶在工藝質(zhì)量檢測(cè)進(jìn)行嚴(yán)格把控。
*特別聲明:「美能光伏」公眾號(hào)所發(fā)布的原創(chuàng)及轉(zhuǎn)載文章,僅用于學(xué)術(shù)分享和傳遞光伏行業(yè)相關(guān)信息。未經(jīng)授權(quán),不得抄襲、篡改、引用、轉(zhuǎn)載等侵犯本公眾號(hào)相關(guān)權(quán)益的行為。內(nèi)容僅供參考,若有侵權(quán),請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我司進(jìn)行刪除。
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