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加速度計(jì)在溫度變化及振動(dòng)條件下是否仍然可以實(shí)現(xiàn)這樣的測(cè)量精度?

MEMS技術(shù) ? 來(lái)源:未知 ? 作者:李倩 ? 2018-09-30 17:10 ? 次閱讀

Chris Murphy是歐洲中央應(yīng)用中心的應(yīng)用工程師,工作地點(diǎn)在愛(ài)爾蘭都柏林。他于2012年加入ADI公司,為電機(jī)控制工業(yè)自動(dòng)化產(chǎn)品提供設(shè)計(jì)支持。他擁有電氣工程研究碩士學(xué)位和計(jì)算機(jī)工程學(xué)士學(xué)位。

問(wèn)題:

我的消費(fèi)級(jí)加速度計(jì)理論上可以測(cè)量小于1°的傾斜。在溫度變化及振動(dòng)條件下是否仍然可以實(shí)現(xiàn)這樣的測(cè)量精度?

答案:

答案很可能是否定的。關(guān)于明確傾斜精度值的問(wèn)題總是很難回答,因?yàn)樵?a target="_blank">MEMS傳感器性能方面需要考慮許多環(huán)境因素。通常,消費(fèi)級(jí)加速度計(jì)難以在動(dòng)態(tài)環(huán)境中檢測(cè)小于1°的傾斜。為了表明這一點(diǎn),我們將通用消費(fèi)級(jí)加速度計(jì)與新一代低噪聲、低漂移和低功耗MEMS加速度計(jì)進(jìn)行比較。這一比較著眼于傾斜應(yīng)用中存在的許多誤差源,以及可以補(bǔ)償或消除哪些誤差。

可以觀察到0 g偏置精度、焊接引起的0 g偏置漂移、PCB外殼對(duì)準(zhǔn)引起的0 g偏置漂移、0 g偏置溫度系數(shù)、靈敏準(zhǔn)確度和溫度系數(shù)、非線性度以及橫軸靈敏度等誤差,并且可以通過(guò)裝配后校準(zhǔn)流程減少這些誤差。滯后、使用壽命期間的0 g偏置漂移、使用壽命期間的靈敏度漂移、潮濕引起的0 g漂移以及溫度隨時(shí)間變化引起的PCB彎曲和扭轉(zhuǎn)等等,這些誤差項(xiàng)無(wú)法通過(guò)校準(zhǔn)或其他方法解決,需要通過(guò)一定程度的原位維修才能減少。在這一比較中,假設(shè)橫軸靈敏度、非線性度和靈敏度得到補(bǔ)償,因?yàn)橄啾葴囟认禂?shù)失調(diào)漂移和振動(dòng)校正,盡量減少這些誤差所需的工作量要少得多。

表1列出了消費(fèi)級(jí)ADXL345加速度計(jì)理想性能規(guī)格及相應(yīng)傾斜誤差的估算值。試圖達(dá)到最佳傾斜精度時(shí),必須采用某種形式的溫度穩(wěn)定或補(bǔ)償。在下面的例子中,假設(shè)恒溫為25℃。無(wú)法完全補(bǔ)償?shù)淖钪饕`差促成因素是溫漂失調(diào)、偏置漂移和噪聲。可以降低帶寬來(lái)降低噪聲,因?yàn)閮A斜應(yīng)用通常需要低于1 kHz的帶寬。

表1 ADXL345誤差源估算值

表2 ADXL355誤差源估算值

選擇更高等級(jí)的加速度計(jì)對(duì)于實(shí)現(xiàn)所需性能至關(guān)重要,特別是應(yīng)用需要小于1°的傾斜精度時(shí)。應(yīng)用精度取決于應(yīng)用條件(溫度大幅波動(dòng),振動(dòng))和傳感器選擇(消費(fèi)級(jí)與工業(yè)級(jí)或戰(zhàn)術(shù)級(jí))。在這種情況下,ADXL345將需要大量的補(bǔ)償和校準(zhǔn)工作才能實(shí)現(xiàn)小于1°的傾斜精度,增加整個(gè)系統(tǒng)的工作量和成本。根據(jù)最終環(huán)境和溫度范圍內(nèi)的振動(dòng)大小,根本不可能實(shí)現(xiàn)上述精度。25℃至85℃范圍內(nèi)的溫度系數(shù)失調(diào)漂移為1.375°,已經(jīng)超過(guò)傾斜精度小于1°的要求。

25℃到85℃范圍內(nèi)ADXL355的溫度系數(shù)失調(diào)漂移為:

如表3所示,振動(dòng)校正誤差(VRE)是加速度計(jì)暴露于寬帶振動(dòng)時(shí)引入的失調(diào)誤差。當(dāng)加速度計(jì)暴露于振動(dòng)環(huán)境時(shí),相比溫漂和噪聲導(dǎo)致的0 g失調(diào),VRE在傾斜測(cè)量中會(huì)導(dǎo)致明顯誤差。這是不再使用數(shù)據(jù)手冊(cè)的主要原因之一,因?yàn)楹苋菀籽谏w其他主要規(guī)格。

表3 以?xún)A斜度表示的誤差

12.5 g rms振動(dòng)導(dǎo)致的1 g方位失調(diào)的范圍為±2 g

在具有較高振幅的環(huán)境中,必須使用較高g范圍的加速度計(jì)才能最大限度減少削波導(dǎo)致的失調(diào)。表4列出了ADXL35x系列加速度計(jì)及其相應(yīng)的g范圍和帶寬。

表4 ADXL354/ADXL355/ADXL356/ADXL357的測(cè)量范圍

選擇適用于傾斜應(yīng)用的ADXL35x系列加速度計(jì)將確保高穩(wěn)定性和可重復(fù)性,可以耐受溫度波動(dòng)和寬帶振動(dòng),并且相比較低成本的加速度計(jì),所需的補(bǔ)償和校準(zhǔn)更少。該系列產(chǎn)品采用密封封裝,可以確保最終產(chǎn)品出廠后重復(fù)性與穩(wěn)定性始終符合規(guī)格參數(shù)。ADI公司的新一代加速度計(jì)可在所有環(huán)境下提供可重復(fù)的傾斜測(cè)量,它們?cè)趷毫迎h(huán)境中無(wú)需進(jìn)行大量校準(zhǔn)即可實(shí)現(xiàn)最小傾斜誤差。

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原文標(biāo)題:溫度變化及振動(dòng)條件下使用加速度計(jì)測(cè)量?jī)A斜

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