酸性化學(xué)品供應(yīng)控制系統(tǒng)

[技術(shù)領(lǐng)域]

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種酸性化學(xué)品供應(yīng)控制系

統(tǒng)。

由于半導(dǎo)體行業(yè)中芯片生產(chǎn)線的工作對象是硅晶片，而能在硅晶片上蝕刻圖形 以及清洗硅晶片上的雜質(zhì)、微粒子的化學(xué)品大多是酸堿性溶液或氣體，如氫氟酸、硫酸等, 酸堿性化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)則是負(fù)責(zé)向化學(xué)品用戶端供應(yīng)酸堿性化學(xué)品的系統(tǒng)。因此,酸堿性 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)是半導(dǎo)體行業(yè)中芯片廠化學(xué)品系統(tǒng)中最重要的系統(tǒng)之一。

酸性化學(xué)品供應(yīng)控制系統(tǒng)作為酸堿化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的種類之一，不僅是一個基礎(chǔ) 系統(tǒng)，也是一個非常重要的系統(tǒng)，主要負(fù)責(zé)為整個廠區(qū)提供必要的酸性化學(xué)品，如具有腐蝕 性的化學(xué)品:H2S04, HCK HN03, HF, H30P4等，以及具有毒性的化學(xué)品：HF、HN03、Poly-Mix、 BOE等,其主要的操作過程是使用酸桶大量地接收化學(xué)品，并集中保存在供應(yīng)槽中，再通過 管道將供應(yīng)槽中的酸性化學(xué)品供應(yīng)到需要使用此化學(xué)品的客戶端設(shè)備使用。根據(jù)目前現(xiàn)有 技術(shù)所使用的情況，由于無法自動判斷酸桶是否需要更換以及供應(yīng)槽中化學(xué)品的量是否適 當(dāng)，給整個酸性化學(xué)品供應(yīng)體系的操作帶來了困難，并且，對于具有腐蝕性和毒性的酸性化 學(xué)品而言，如果此類問題不加以正確處理，帶來的不僅是生產(chǎn)上的損失，還有人身安全的 威脅。因此，如何能夠在最少的人工操作的前提下，使得酸性化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)穩(wěn)定安全地自 動運(yùn)行，是目前本行業(yè)急需解決的問題。

[實(shí)用新型內(nèi)容]

本實(shí)用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種酸性化學(xué)品供應(yīng)控制系統(tǒng), 能夠自動判斷酸桶是否需要更換以及供應(yīng)槽中化學(xué)品的量是否適當(dāng)，實(shí)現(xiàn)了最少的人工操 作前提下，使得酸性化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)穩(wěn)定、安全地自動運(yùn)行。

為實(shí)現(xiàn)上述目的設(shè)計(jì)一種酸性化學(xué)品供應(yīng)控制系統(tǒng)，包括酸桶系統(tǒng)和供應(yīng)槽系 統(tǒng),所述酸桶系統(tǒng)管道連接供應(yīng)槽系統(tǒng)，所述供應(yīng)槽系統(tǒng)管道連接化學(xué)品用戶端9,所述酸 桶系統(tǒng)包括酸桶1,所述供應(yīng)槽系統(tǒng)包括供應(yīng)槽2、傳感器3、泵4和氣動閥5,所述酸桶1、供 應(yīng)槽2、傳感器3、泵4和氣動閥5通過PLC6連接。

所述供應(yīng)槽系統(tǒng)還包括警報(bào)裝置7,所述警報(bào)裝置7通過PLC6連接酸桶1、供應(yīng)槽

2、傳感器3、泵4和氣動閥5o

所述供應(yīng)槽2上設(shè)有最低點(diǎn)和最高點(diǎn)，所述供應(yīng)槽2上最低點(diǎn)和最高點(diǎn)處分別設(shè)

有液位傳感器，所述液位傳感器通過PLC6連接警報(bào)裝置7。

所述供應(yīng)槽系統(tǒng)中設(shè)有觸摸屏8,所述觸摸屏8通過PLC6連接酸桶1、供應(yīng)槽2、傳 感器3、泵4、氣動閥5和警報(bào)裝置7。

本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，結(jié)構(gòu)新穎、簡單，由于通過PLC控制酸性化學(xué)品供應(yīng) 控制系統(tǒng)中的氣動閥和泵，以及在供應(yīng)槽上設(shè)有最低點(diǎn)和最高點(diǎn)，并在該最低點(diǎn)和最高點(diǎn) 處分別設(shè)有液位傳感器，從而能夠自動判斷酸桶是否需要更換以及自動判斷供應(yīng)槽中化學(xué) 品的量是否適當(dāng)，實(shí)現(xiàn)了以最少的人工操作為前提，使得酸性化學(xué)品供應(yīng)控制系統(tǒng)穩(wěn)定、安 全地自動運(yùn)行；而且,本實(shí)用新型所述的酸性化學(xué)品供應(yīng)控制系統(tǒng)中還設(shè)有報(bào)警裝置，并將 該報(bào)警系統(tǒng)通過PLC連接酸桶和供應(yīng)槽，從而能夠及時發(fā)現(xiàn)問題并解決，保證了該酸性化 學(xué)品供應(yīng)控制系統(tǒng)長期穩(wěn)定地運(yùn)行，且運(yùn)行非常安全、可靠，避免了生產(chǎn)上的諸多損失，也 保障了現(xiàn)場操作人員的人身安全。

本實(shí)用新型包括：酸桶系統(tǒng)和供應(yīng)槽系統(tǒng)，所述酸桶系統(tǒng)管道連接供 應(yīng)槽系統(tǒng)，所述供應(yīng)槽系統(tǒng)管道連接化學(xué)品用戶端9,所述酸桶系統(tǒng)包括酸桶1,所述供應(yīng) 槽系統(tǒng)包括供應(yīng)槽2、傳感器3、泵4和氣動閥5,所述酸桶1、供應(yīng)槽2、傳感器3、泵4和氣 動閥5通過PLC6連接，所述供應(yīng)槽系統(tǒng)還包括警報(bào)裝置7,所述警報(bào)裝置7通過PLC6連接 酸桶1、供應(yīng)槽2、傳感器3、泵4和氣動閥5,所述供應(yīng)槽2上設(shè)有最低點(diǎn)和最高點(diǎn),所述供 應(yīng)槽2上最低點(diǎn)和最高點(diǎn)處分別設(shè)有液位傳感器，所述液位傳感器通過PLC6連接警報(bào)裝置 7,所述供應(yīng)槽系統(tǒng)中設(shè)有觸摸屏8,所述觸摸屏8通過PLC6連接酸桶1、供應(yīng)槽2、傳感器 3、泵4、氣動閥5和警報(bào)裝置7。

本實(shí)用新型主要的目的是使用酸桶大量地接收化學(xué)品，并集中保存在供應(yīng)槽中， 然后通過管道供應(yīng)到化學(xué)品用戶端。酸桶系統(tǒng)主要是使用200L酸桶大批量將化學(xué)品輸送 到供應(yīng)槽，供應(yīng)槽系統(tǒng)則根據(jù)化學(xué)品用戶端的要酸情況，通過管道將化學(xué)品輸送到相應(yīng)設(shè) 備。使用時，將200L酸桶放置到機(jī)臺的內(nèi)部，連接好相應(yīng)的接頭，然后PLC程序自動運(yùn)行， 當(dāng)供應(yīng)槽中的化學(xué)品位置低于最低點(diǎn)時，則供應(yīng)槽向酸桶索要酸性化學(xué)品，酸桶開始傳送, 供應(yīng)槽從酸桶處接受酸性化學(xué)品；當(dāng)供應(yīng)槽中的化學(xué)品位置高于最高點(diǎn)時,則不再索要酸 性化學(xué)品，即傳送結(jié)束；當(dāng)酸桶中的化學(xué)品不足時，則通過報(bào)警裝置提示操作人員做好相應(yīng) 的換酸桶操作。

本實(shí)用新型并不受上述實(shí)施方式的限制，其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí) 質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實(shí)用 新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。