動(dòng)態(tài)壓力傳感器發(fā)展趨勢(shì)
傳統(tǒng)的動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量采用壓電式壓力傳感器，它利用石英、壓電陶瓷等材料在受到突變力時(shí)產(chǎn)生電荷的壓電效應(yīng)制成。由于它有優(yōu)良的高頻動(dòng)態(tài)性能（一般數(shù)百千赫茲的固有頻率和微秒級(jí)的上升時(shí)間），因此至今仍是動(dòng)態(tài)壓力傳感器的主導(dǎo)產(chǎn)品之一。然而它的使用不便、抗擾度差、低頻特性差（數(shù)赫茲以下的低頻特性很差）等天生缺點(diǎn)，使其在既要求動(dòng)態(tài)瞬變過程，又要求慢變靜態(tài)過程的全程壓力變化的工業(yè)應(yīng)用中顯得很不勝任。動(dòng)態(tài)壓力傳感器的另一流派，利用單晶硅材料壓阻效應(yīng)制成的壓阻動(dòng)態(tài)壓力傳感器在近年則得到迅速發(fā)展，由于其在精度、壽命、可靠性、兼顧靜態(tài)與動(dòng)態(tài)測(cè)量等方面的優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)成為壓力測(cè)量的主流。目前，隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，壓阻動(dòng)態(tài)壓力傳感器的動(dòng)態(tài)性能已逐漸超越壓電式壓力傳感器，并成為未來動(dòng)態(tài)壓力傳感器的主要發(fā)展方向。公司擁有壓阻式高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器相關(guān)授權(quán)國家發(fā)明專利7項(xiàng)，牽頭制定了GB/T 26807-2011《硅壓阻式動(dòng)態(tài)壓力傳感器》國家標(biāo)準(zhǔn)一項(xiàng)和JB/T11206-2011《硅壓阻式微型、薄型壓力傳感器》國家機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)一項(xiàng)。該項(xiàng)技術(shù)獲2017年國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。高頻動(dòng)態(tài)相關(guān)產(chǎn)品性能指標(biāo)獲得了航空304所、航天102所的高度評(píng)價(jià)與認(rèn)可，多用于動(dòng)態(tài)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)壓力傳感器。
