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蘇州清芯卓半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

蘇州清芯卓半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，致力于半導(dǎo)體集成電路、中高端濕法腐蝕、清洗設(shè)備、CDS集中供液系統(tǒng)、通風(fēng)柜/廚等一站式的解決方案的技術(shù)企業(yè).

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清芯卓甩干機(jī)

型號(hào)： qxzSG

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 晶片規(guī)格 2-8〞wafer

--- 產(chǎn)品詳情 ---

晶片規(guī)格： 2-8〞wafer  RPM： 500-2600r/min  基礎(chǔ)工藝流程: 上料→DI噴淋+旋轉(zhuǎn)→N2（hot）+旋轉(zhuǎn)→加速旋轉(zhuǎn)（溫控）→下料  腔體數(shù)量： 單腔/雙腔/四腔  設(shè)備類型： 半自動(dòng)   Footprint : 480 (W) x 800(D) x 1800(H) mm 

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