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伯東企業(yè)（上海）有限公司

上海伯東是德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品,美國(guó) KRI 離子源,美國(guó)HVA 真空閥門,美國(guó) inTEST熱流儀代理商

167 內(nèi)容數(shù) 5.4w 瀏覽量 2 粉絲

銷售維修普發(fā)殘余氣體分析儀 Hicube RGA

型號(hào)： Hicube RGA

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 品牌 德國(guó) Pfeiffer

--- 產(chǎn)品詳情 ---

因產(chǎn)品配置不同, 價(jià)格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)

殘余氣體分析儀 Hicube RGA
上海伯東銷售維修德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA. 四極桿質(zhì)譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的搭配, 質(zhì)量數(shù)范圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用于殘余氣體分析, 過(guò)程監(jiān)測(cè), 泄漏檢測(cè).

殘余氣體分析儀 Hicube RGA 優(yōu)勢(shì)
殘余氣體分析和氦氣泄漏檢測(cè)模式
可用于從大氣壓至高真空環(huán)境
高分辨率和靈敏度
通過(guò)真空壓力監(jiān)測(cè)保護(hù)燈絲
進(jìn)氣系統(tǒng)帶集成式切斷閥

Pfeiffer 殘余氣體分析儀 Hicube RGA 技術(shù)規(guī)格

渦輪分子泵組

HiCube? Eco

功耗

170W

電壓（范圍）

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮?dú)獬樗?/p>

67 l/s

前級(jí)泵在 50 Hz 時(shí)的泵送速度

1 m3/h

極限真空

<1X10-7 hPa

真空計(jì)

PKR 361

測(cè)量范圍

1X10-9 至 1X103 hPa

閥門

EVN 116

氣體流量

可調(diào)整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s

進(jìn)氣口

DN 16 ISO-KF

 

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測(cè)器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

質(zhì)量數(shù) amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極桿直徑／長(zhǎng)度

6 /125 mm

最小檢測(cè)極限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小檢測(cè)極限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

對(duì)Ar的靈敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最大工作壓力 F hPa

5X10-4

最大工作壓力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作溫度 電子

5 – 50 °C

烘烤溫度 分析

300 °C

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時(shí)間

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重復(fù)性

± 0.5 %

接口

以太網(wǎng)

電源電壓

100–240 V AC，50/60 Hz

HiCube? RGA重量

25.5 - 26.2 kg


殘余氣體分析儀 Hicube RGA 典型應(yīng)用
殘余氣體分析: 對(duì)真空系統(tǒng)中殘余氣體的分析, 可以獲知在達(dá)到所需的最終壓力或調(diào)節(jié)要求時(shí), 殘余物質(zhì)的組成. 由此可以得出各種有關(guān)系統(tǒng)表面性質(zhì), 脫附行為, 純度和密封性以及工藝氣體成分的結(jié)論. 這將為您提供有關(guān)真空室或真空組件狀態(tài)的重要信息.

泄漏檢測(cè): 上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 具有氦氣泄漏檢測(cè)模式, 可以通過(guò)軟件控制激活. 此功能可以方便您發(fā)現(xiàn)真空系統(tǒng)中的任何泄漏.

過(guò)程監(jiān)控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的測(cè)量范圍內(nèi)隨時(shí)間觀察任意數(shù)量的選定質(zhì)量強(qiáng)度, 并可對(duì)選定的各質(zhì)量分配警報(bào)循環(huán)閾值. 如果它們高于或低于所需極限, 則可以通過(guò)數(shù)字輸出將信號(hào)提供給更高級(jí)別的控制系統(tǒng). 因此殘余氣體分析儀 HiCube RGA 能夠提供實(shí)時(shí)過(guò)程觀察和控制功能. EVN 116 氣體計(jì)量閥還可以使真空系統(tǒng)中的壓力適應(yīng)相應(yīng)過(guò)程需求, 此外, 集成式切斷閥還允許對(duì)泄漏設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速開(kāi)/關(guān)控制.

質(zhì)量保證和過(guò)程優(yōu)化: 諸如提供氣體成分定量測(cè)定, 確定過(guò)程氣體純度, 以及監(jiān)測(cè)真空鍍膜過(guò)程相關(guān)氣體成分等能力, 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 是過(guò)程記錄和質(zhì)量保證中的重要工具. 即使測(cè)量正在執(zhí)行, 所有測(cè)量值也會(huì)得到存儲(chǔ), 并且可以在不停止測(cè)量的情況下追蹤. 即使仍在執(zhí)行測(cè)量, 也可以導(dǎo)出測(cè)量結(jié)果以進(jìn)行進(jìn)一步分析.

若您需要進(jìn)一步的了解殘余氣體分析儀詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士 分機(jī) 107


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