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?SECS/GEM是半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)中廣泛采用的一個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。首先介紹了SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的整體框架，并分析了其行業(yè)發(fā)展?fàn)顩r，然后依次說(shuō)明了SECSⅠ/Ⅱ、GEM、HSMS各個(gè)分層標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)報(bào)文格式、傳輸控制模型、狀態(tài)轉(zhuǎn)換模型以及相互間的通信控制方式等，最后分析了該標(biāo)準(zhǔn)在我國(guó)半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)中的應(yīng)用狀況。實(shí)踐表明，SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)嚴(yán)謹(jǐn)，適應(yīng)面廣，在我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用前景廣闊。
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