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差動電容傳感器越來越廣泛地應(yīng)用于諸如壓力、加速度、直線位移、轉(zhuǎn)角等物理量的測量，其電路結(jié)構(gòu)依測量要求不同而不同．但其基本原理都是和用比斜信號處理法以傳感器電容容量的變化來反映被測量的變化．電容變化可 是線性或非線性的。利用比倒信號處理法可 實現(xiàn)棱測量的精確．線性檢測。所謂比例信號處理法即用傳感器中兩電容之差與兩電容之和的比值來線性地反映棱測量。因此需要專門的信號處理電路將傳感器電容變化轉(zhuǎn)換為易于檢測的電量，已經(jīng)出現(xiàn)的技術(shù)方法有開關(guān)一電容(s／c)法，模數(shù)轉(zhuǎn)換(A／D)法、電容、頻率轉(zhuǎn)換法、電容相位轉(zhuǎn)換法等，其中適用于CMOS集成電路的SIC 法由于時鐘饋線的影響精度較低，C／F法可rJ選到很高的精度，但由于需要微處理器來進行比斜運鋒而難以滿足時實時、快速的要求。近年來，^ 們在提高精度和速度方面不斷探索，提出了各種提高精度和速度的方法。下面介紹兩種實用的高精度、高速度差動電容傳感器信號處理電路。
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