資料介紹
差動電容傳感器越來越廣泛地應用于諸如壓力、
加速度、直線位移、轉(zhuǎn)角等物理量的測量,其電路結構
依測量要求不同而不同.但其基本原理都是和用比斜
信號處理法以傳感器電容容量的變化來反映被測量的
變化.電容變化可 是線性或非線性的。利用比倒信號
處理法可 實現(xiàn)棱測量的精確.線性檢測。所謂比例信
號處理法即用傳感器中兩電容之差與兩電容之和的比
值來線性地反映棱測量。因此需要專門的信號處理電
路將傳感器電容變化轉(zhuǎn)換為易于檢測的電量,已經(jīng)出
現(xiàn)的技術方法有開關一電容(s/c)法,模數(shù)轉(zhuǎn)換(A/
D)法、電容、頻率轉(zhuǎn)換法、電容相位轉(zhuǎn)換法等,其中適
用于CMOS集成電路的SIC 法由于時鐘饋線的影響
精度較低,C/F法可rJ選到很高的精度,但由于需要微
處理器來進行比斜運鋒而難以滿足時實時、快速的要
求。近年來,^ 們在提高精度和速度方面不斷探索,提
出了各種提高精度和速度的方法。下面介紹兩種實用
的高精度、高速度差動電容傳感器信號處理電路。
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