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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>微壓阻式傳感器有限元模擬及線性度優(yōu)化設(shè)計

      微壓阻式傳感器有限元模擬及線性度優(yōu)化設(shè)計

      2018-02-09 | rar | 0.89 MB | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      　　薄膜結(jié)構(gòu)微壓阻式傳感器在提高靈敏度過程中容易引入非線性誤差，導(dǎo)致傳感器輸出性能變差。通過分析微壓阻式傳感器核心敏感元件結(jié)構(gòu)，利用Ansvs軟件建立硅杯薄膜有限元分析模型，并通過彈性力學(xué)方法對有限元模擬的精確度進行驗證。針對薄膜結(jié)構(gòu)傳感器非線性誤差隨靈敏度提升而急劇增加的問題，為了提高傳感器的線性性能，通過在敏感薄膜下方集成雙島結(jié)構(gòu)，并分析優(yōu)化島長和島寬等結(jié)構(gòu)參數(shù)，得到了一種輸出線性度優(yōu)良的雙島結(jié)構(gòu)傳感器模型。模型輸出結(jié)果表明：雙島結(jié)構(gòu)撓度線性度為0.8%，相比薄膜結(jié)構(gòu)8.6%有了較大的改善，電壓輸出線性度為0.9%，能滿足使用要求，且實現(xiàn)了高靈敏度下線性輸出優(yōu)良的傳感器模型設(shè)計。
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