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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>高性能MEMS電容壓力傳感器的設(shè)計(jì)及其熱分析

      高性能MEMS電容壓力傳感器的設(shè)計(jì)及其熱分析

      2021-03-20 | rar | 1.02 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　為了進(jìn)一步提高接觸式電容壓力傳感器的性能，設(shè)計(jì)了一種高性能雙凹槽結(jié)構(gòu)的接觸式電容壓力傳感器，并對(duì)該傳感器在高溫環(huán)境中的總體性能進(jìn)行了分析。推導(dǎo)了熱傳導(dǎo)和熱彈性理論，并對(duì)影響傳感器熱分析的各個(gè)因素與溫度的依賴關(guān)系進(jìn)行了描述;在整個(gè)分析過(guò)程中，使用ANSYS軟件并結(jié)合有限元方法對(duì)全尺寸傳感器的熱效應(yīng)進(jìn)行模擬。結(jié)果表明，在接觸工作狀態(tài)雙凹槽接觸式電容壓力傳感器的溫度對(duì)輸入（壓力）2輸出（電容）特性的影響是線性的，且線性范圍內(nèi)初始?jí)毫﹄S溫度的升高而降低。

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