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改變傳感器可動極板的結(jié)構(gòu)是解決MEMS電容式壓力傳感器信號輸出與壓力輸入呈非線性關(guān)系問題的方法之一。設(shè)計了一種新型結(jié)構(gòu)電容式壓力傳感器，其可動極板是LPCVD氮化硅構(gòu)成的一個方形薄膜，薄膜中心到邊緣之間由PECVD氧化硅構(gòu)筑一個環(huán)形島棱，使可動極板在壓力負(fù)載下的變形趨于平整，減小了邊緣雜散電容帶來的非線性，從而改善了該傳感器的輸出特性。利用有限元方法分析了不同尺寸的動極板在不同外加壓力作用下壓力與形變的關(guān)系。以及相應(yīng)的應(yīng)力分布情況，并采用最dx--乘擬合直線法計算了壓力傳感器的線性度。分析結(jié)果表明，與常規(guī)的雙極板微型電容式壓力傳感器相比，新型結(jié)構(gòu)壓力傳感器的線性度改善了48．38％，達(dá)到了1。6％。
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