微電子行業(yè)入門通用教材

目 錄
第一章 半導體的基礎知識
1-1半導體的一些基本概念
1-1-1什么是半導體？……………………………………………………4
1-1-2 半導體的基本特性………………………………………………. .4
1-1-3 半導體的分類……………………………………………………...4
1-1-4 N型半導體和P型半導體……………………………………….5
1-1-5 半導體的導電機構……………………………………………….6
1-2 P-N結………………………………………………………………………9
1-2-1 P-N結的構成…………………………………………………….9
1-2-2 P-N結內(nèi)的載流子運動和平衡…………………………………10
1-2-3 P-N結的基本特性………………………………………………10
1-3 二極管………………………………………………………...……………12
1-3-1 二極管的基本構成………………………………………………..12
1-3-2 二極管的特性曲線（伏安特性）………………...…………….12
1-3-3 二極管的分類……………………………………………………13
1-4 晶體管（僅講雙極型）……………………………………………………13
1-4-1 晶體管的構成…………………………………………………….13
1-4-2 晶體管的放大原理……………………………………………….15
1-4-3 晶體管的特性曲線……………………………………………….18
1-4-4 晶體管的分類…………………………………………………….21
1-4-5 晶體管的主要電參數(shù)…………………………………………….21

第二章 晶體管制造工藝與原理
2-1 典型產(chǎn)品工藝流程……………………..…...………………………………24
2-1-1 晶體管的基本工藝流程…………………………………………..24
2-1-2 典型產(chǎn)品的工藝流程…………………………………...…………24
2-2 晶體管制造主要工藝的作用與原理……………...………………………..25
2-2-1 氧化工藝…………………………………………………………..25
2-2-2 擴散工藝…………………………………………………………..26
2-2-3 離子注入工藝……………………………………………………..30
2-2-4 光刻工藝…………………………………………………………..31
2-2-5 蒸發(fā)（真空鍍膜）工藝…………………………………………..32
2-2-6 CVD工藝…………………………………………………………..33
2-2-7 臺面工藝…………………………………………………………..34
2-2-8 三擴、磨拋工藝…………………………………………………..35
2-2-9 清洗工藝…………………………………………………………..36
2-2-10 中測、劃片工藝…………………………………………………36
2-3 常見的工藝質量問題以及對產(chǎn)品質量的影響……………………………….37
2-3-1 工藝質量問題分類…………………………………………………37
2-3-2 常見的工藝質量問題舉例…………………………………………37
2-4 工藝紀律和工藝衛(wèi)生的重要性……………………………………………….41
2-4-1 半導體生產(chǎn)對空氣潔凈度的要求…………………………………41
2-4-2 工藝衛(wèi)生的內(nèi)涵…………………………………………………..42
2-4-3 工藝衛(wèi)生好壞對半導體生產(chǎn)的影響……………………………..42
2-4-4 工藝紀律的內(nèi)涵…………………………………………………..43
2-4-5 工藝紀律的重要性………………………………………………..43