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本文對板式及管式PECVD中的微波和射頻功率進(jìn)行了調(diào)節(jié)，通過分析其對氮化硅薄膜厚度與折射率的影響，指出其對目前生產(chǎn)線工藝的影響，以及對最終電池片電性能的幫助作用。
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