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電子集成微系統(tǒng)技術(shù)是微電子技術(shù)和系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展到新歷史階段的必然結(jié)果，也是應(yīng)用創(chuàng)新與技術(shù)創(chuàng)新融合發(fā)展的典范。電子集成微系統(tǒng)概念自上世紀(jì)九十年代出現(xiàn)以來，就以其強大的生命力強力推動專業(yè)整合和產(chǎn)業(yè)融合，被公認(rèn)為21世紀(jì)的革命性技術(shù)之一，已經(jīng)并將越來越顯著地改變甚至顛覆人類社會生活方式。
早起的微系統(tǒng)是指微機電系統(tǒng)（MEMS）。MEMS是隨著微細加工技術(shù)和超精密加工技術(shù)發(fā)展起來的，其涵義較現(xiàn)在的“微系統(tǒng)”概念相對狹窄。隨著MEMS技術(shù)、微電子技術(shù)的不斷發(fā)展，又開始滲透擴展，不僅系統(tǒng)中集成的機械元件數(shù)量和體現(xiàn)計算能力的晶體管數(shù)量大幅增加，而且開始集成生物、光學(xué)、軟件等多種技術(shù)或元件。
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