激光切割永磁直線伺服系統(tǒng)的反演滑?？刂品謮K處理

　　激光切割技術(shù)因具有無(wú)接觸性、切縫窄、工件變形小等特點(diǎn)，在各類材料加工領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。激光精密加工成的工件質(zhì)量與機(jī)電伺服控制系統(tǒng)密切相關(guān)。傳統(tǒng)的由旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)機(jī)械速度變換的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)因齒隙的存在易造成切割工作臺(tái)的跳動(dòng)。而永磁直線同步電機(jī)（ Permanent Magnet Linear Synchronous　Motors，PMLSM）定位精度高、推力大、響應(yīng)速度快、無(wú)機(jī)械傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，因此在數(shù)控機(jī)床、半導(dǎo)體制造等精密激光切割控制系統(tǒng)中具有廣泛的應(yīng)用前景。

　　PMLSM伺服系統(tǒng)存在周期性的推力波動(dòng)、模型非線性和參數(shù)變化（摩擦系數(shù)、動(dòng)子質(zhì)量、繞組電阻等）等不確定性，對(duì)控制系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)性能產(chǎn)生很大影響。同時(shí)，因取消了傳動(dòng)結(jié)構(gòu)而直接驅(qū)動(dòng)負(fù)載造成了干擾信號(hào)直接作用于PMLSM上，這也使得控制系統(tǒng)對(duì)負(fù)載擾動(dòng)及參數(shù)變化較為敏感。特別是在電機(jī)低速運(yùn)行時(shí)較易發(fā)生機(jī)械振動(dòng)和噪聲，降低了伺服系統(tǒng)的跟蹤性能。為了提高PMLSM伺服控制系統(tǒng)性能，應(yīng)對(duì)摩擦和擾動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)償，尤其應(yīng)對(duì)低速運(yùn)行時(shí)的摩擦和擾動(dòng)進(jìn)行消除或補(bǔ)償。