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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電源技術(shù)>基于TCAD的低壓溝槽MOSEFT柵漏電荷的研究

      基于TCAD的低壓溝槽MOSEFT柵漏電荷的研究

      2010-08-02 | rar | 243 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      對于低壓功率溝槽MOSFET的開關(guān)性能，柵－漏電荷Qgd是一個重要的參數(shù)。本文利用數(shù)值模擬軟件TCAD（器件與工藝計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)），研究了氧化層厚度、溝道雜質(zhì)分布、外延層雜質(zhì)濃度及溝槽深度等參數(shù)對功率溝槽MOSFET的柵－漏電容Cgd的影響以及柵－漏電荷Qgd在開關(guān)過程中的變化，指出了在工藝設(shè)計(jì)上減小柵－漏電容Cgd, 降低器件優(yōu)值，提高開關(guān)性能的途徑。
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