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針對壓電陶瓷驅(qū)動存在的上述問題，本文通過分析電壓型驅(qū)動器原理及電路參數(shù)，提出了一種基于反饋零點補償和噪聲增益補償技術(shù)的混合型補償方法。利用該技術(shù)對壓電陶瓷驅(qū)動放大模塊進(jìn)行補償后，有效地提高了驅(qū)動模塊的頻帶帶寬及動態(tài)性能。
針對壓電陶瓷驅(qū)動電源在動態(tài)應(yīng)用中需要利用各種動態(tài)波形作為輸入信號的要求，設(shè)計了一種基于FPGA的直接數(shù)字頻率合成(DDS)波形發(fā)生系統(tǒng)。為便于驅(qū)動電源的集成化，本文結(jié)合所設(shè)計的驅(qū)動器及AVR單片機建立了完整的壓電陶瓷微定位控制系統(tǒng)。
最后，結(jié)合壓電陶瓷微動工作臺，建立了納米級定位實驗系統(tǒng)。通過理論研究和實驗驗證可知，本文的研究工作對提高壓電陶瓷微驅(qū)動系統(tǒng)的性能，進(jìn)一步擴展壓電陶瓷在動態(tài)性能要求較高的微驅(qū)動領(lǐng)域中的研究具有重要的理論意義和實際應(yīng)用價值。
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