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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>射頻微等離子體的結(jié)構(gòu)有什么特點

      射頻微等離子體的結(jié)構(gòu)有什么特點

      2020-11-16 | pdf | 0.14 MB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      　　在之前的文章中，對射頻大氣壓輝光放電已經(jīng)有所介紹，那么，如果在射頻放電中，將放電的間隙進一步縮小到微等離子體尺度內(nèi)，即為1mm左右，乃至到了幾百微米的量級，射頻微等離子體又會出現(xiàn)哪一些新的特點呢？接下來我們與大家共同探討。

      　　如下圖所示，是在相同的電流下，射頻微等離子體鞘層區(qū)與等離子體區(qū)的分布比例。在給定電流密度0.06A/cm2，當放電間隙逐漸增加，實驗與計算均表明鞘層開始逐漸增加，而當極板間隙增加超過500μm后，鞘層厚度幾乎保持在215μm不變。而對于等離子體區(qū)的厚度，其從100μm到900μm一直在單調(diào)增加。

      　　通過上圖我們可知，當放電間隙小于500μm時，放電等離子體由傳統(tǒng)的輝光放電結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)化為一種鞘層主導(dǎo)的結(jié)構(gòu)，即鞘層成為放電空間的主要部分。同時，數(shù)值模擬還表明，在鞘層主導(dǎo)的放電結(jié)構(gòu)中，整個放電空間失去了電中性，呈現(xiàn)為電正性，如下圖所示。

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