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目前，半導(dǎo)體的研究和生產(chǎn)所用的材料仍以硅、鍺及化合物半導(dǎo)體為主。它們的結(jié)構(gòu)主要是金剛石，閃鋅礦和纖維礦結(jié)構(gòu)。晶體的鮮明的特點是各個方向性質(zhì)不同。即具有各向異性的特點。在不同的晶軸方向，它們的物理性能，化學(xué)性能差別非常大。例如：晶面的法向生長速度，腐蝕速度。雜質(zhì)的擴散速度，氧化速度，以及晶面的解理特性等等，都由于晶體的取向不同而不同。況且在科研和生產(chǎn)中，由于我們制造的器件使用目的不同。往往也要求我們所用基片的半導(dǎo)體材料的晶向不同。所以我們需首先對晶軸進行定向。
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