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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>碳化硅大功率高頻電子器件上的薄氮化鎵

      碳化硅大功率高頻電子器件上的薄氮化鎵

      2023-02-15 | pdf | 0.20 MB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      在碳化硅(SiC)上開發(fā)了更薄的III族氮化物結(jié)構(gòu)，以期實現(xiàn)高功率和高性能高頻薄高電子遷移率晶體管和其他器件。新結(jié)構(gòu)使用 高質(zhì)量的60納米無晶界氮化鋁成核層來避免大面積的擴展缺陷，而不是1-2米厚的氮化鎵緩沖層(圖1)。成核層允許在0.2 m內(nèi)生 長高質(zhì)量的氮化鎵。
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