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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>絕緣資料|化工資料>薄膜混合電路中有機薄膜厚度的快速測定

      薄膜混合電路中有機薄膜厚度的快速測定

      2010-05-04 | rar | 144 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      摘要：介紹了一種無損、快速、準(zhǔn)確測定有機薄膜厚度的新方法一FT—IR反射一干涉光譜法。對測厚的原理進行了分析，將此方法用于薄膜微波電路生產(chǎn)中光刻臆和聚酰亞胺厚度的測定，并與傳統(tǒng)的用臺階儀測厚方法進行比較。FT一IR反射-干涉光譜法更方便、快捷、更準(zhǔn)確，避免了光刻的過程和光刻顯影過程中顯影液對膜厚的減損，以及臺階測厚儀本身可能造成的測量誤差。
      關(guān)鍵詞：FT—IR；薄膜微波電路；光刻膠；厚度
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