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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>電源技術(shù)論文>直流磁控濺射電源研制及輸出特性研究

      直流磁控濺射電源研制及輸出特性研究

      2010-06-27 | rar | 95 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      摘要：磁控濺射技術(shù)在薄膜制備領(lǐng)域廣泛應用，電源是磁控濺射鍍膜的關(guān)鍵設備之一。本文介紹了全橋逆變直流磁控濺射電源主電路和控制電路的設計，該電源輸出功率2kW，采用PI恒流控制，具有過流保護。通過阻性負載測試表明電源具有很好恒流特性，在輸出功率超過400W時電源效率比較高。利用氮氣/氬氣不銹鋼靶直流磁控濺射實際的等離子體負載測試表明：在保證真空室內(nèi)壓力不變的前提下，隨著氮氣比例的增加，電壓下降，但電源恒流效果好，工作穩(wěn)定。
      關(guān)鍵詞：磁控濺射；電源；全橋變換；恒流
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