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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>MEMS傳感器的優(yōu)化與動態(tài)試驗

      MEMS傳感器的優(yōu)化與動態(tài)試驗

      2009-11-23 | rar | 225 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      為了實現(xiàn)液壓系統(tǒng)的動態(tài)測量，給液壓系統(tǒng)的設計以及故障診斷提供理論依據(jù)，在
      已經設計的新型MEMS 流量傳感器的基礎上，對其結構尺寸進行了進一步的優(yōu)化，并對
      MEMS 芯體和優(yōu)化后的MEMS 傳感器進行靜態(tài)標定。對MEMS 傳感器進行動態(tài)特性試驗，發(fā)現(xiàn)新型MEMS 傳感器具有低擾動、高頻率響應等特點，適合液壓系統(tǒng)的動態(tài)測量。
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