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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>微型激光干涉測振儀研究應(yīng)用

      微型激光干涉測振儀研究應(yīng)用

      2017-09-08 | rar | 0.14 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　激光干涉測振儀SP-S系列，是對物體位置或表面位置的瞬時變化進(jìn)行精密、非接觸測量的理想儀器，允許測量機(jī)械振動的頻率范圍為0-500kHz。該儀器是在SP系列微型平面鏡干涉儀的成熟概念基礎(chǔ)上設(shè)計出來的。SP-S系列干涉儀的傳感測頭裝備有輔助光學(xué)元件，可以對任意粗糙度的表面進(jìn)行測量。

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