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標(biāo)簽 > 晶圓工藝
晶圓工藝是一種生產(chǎn)工藝,晶圓工藝是從大的方面來(lái)講,晶圓生產(chǎn)包括晶棒制造和晶片制造兩大步驟,它又可細(xì)分為以下幾道主要工序,其中晶棒制造只包括下面的第一道工序,其余的全部屬晶片制造,所以有時(shí)又統(tǒng)稱(chēng)它們?yōu)榫е衅筇幚砉ば颉?/p>
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新的晶圓工藝工具包括高溫外延生長(zhǎng)(>1,500°C)、熱離子注入、快速熱處理(RTP)和更快的脈沖原子層沉積。用于SiC 材料的晶圓研磨、CMP、...
2023-08-28 標(biāo)簽:集成電路功率半導(dǎo)體晶圓工藝 587 0
一片18寸(450mm)晶圓產(chǎn)出的芯片數(shù)是12寸(300mm)的兩倍以上,雖然晶圓尺寸愈大,愈能降低芯片制造成本,但推升晶圓尺寸所需的技術(shù)和復(fù)雜度高,需...
本內(nèi)容詳解了晶圓制造工藝流程,包括表面清洗,初次氧化,熱處理,光刻技術(shù)和離子刻蝕技術(shù)等
晶圓生產(chǎn)包括晶棒制造和晶片制造兩大步驟,它又可細(xì)分為以下幾道主要工序(其中晶棒制造只包括下面的第一道工序,其余的全部屬晶片制造,所以有時(shí)又統(tǒng)稱(chēng)它們?yōu)榫е?..
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