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標(biāo)簽 > 清洗
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單片SPM系統(tǒng)使用了大量的化學(xué)物質(zhì),同時滿足28nm以下的清潔規(guī)格。 本文描述了在集成系統(tǒng)Ultra-C Tahoe中使用批量SPM系統(tǒng)和單晶片清洗,結(jié)...
本文將詳細(xì)探討清洗和紋理的相互作用,在清潔過程中使用的化學(xué)類型對平等有著深遠(yuǎn)的影響,并在紋理中產(chǎn)生不可預(yù)測的影響。 經(jīng)過線鋸、除膠和切割,最終清理的目的...
多晶硅薄膜后化學(xué)機(jī)械拋光的新型清洗解決方案
索引術(shù)語—清洗、化學(xué)機(jī)械拋光、乙二胺四乙酸、多晶硅、三氧化二氫。 摘要 本文為后化學(xué)機(jī)械拋光工藝開發(fā)了新型清洗液,在稀釋的氫氧化銨(NH4OH+H2O)...
關(guān)鍵詞:銅化學(xué)機(jī)械拋光后清洗,聚乙烯醇刷,非接觸模式,流體動力阻力。 介紹 聚乙烯醇刷洗是化學(xué)溶液清洗過程中常用的方法。聚乙烯醇刷擦洗可分為兩大類,根據(jù)...
力士樂柱塞泵從一出廠,運(yùn)輸,上架,售賣,安裝測試,經(jīng)過一系列的交易后到達(dá)客戶的手里,從正式運(yùn)行工作開始,都是沒有問題,能夠正常運(yùn)行的。但是隨著力士樂柱塞...
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