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標簽 > 虛擬工藝
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該DRAM案例研究表明,通過在虛擬環(huán)境中執(zhí)行大量的DOE和工藝變化研究,可以消除不相關(guān)DOE路徑的時間和成本,并快速實現(xiàn)性能和良率目標,從而加快產(chǎn)品上市時間。
半導(dǎo)體工藝開發(fā):利用虛擬晶圓制造的統(tǒng)計數(shù)據(jù)來提高良率
半導(dǎo)體工藝的開發(fā)絕非易事,每一代器件研發(fā)的難度和成本在不斷提升。用傳統(tǒng)的先構(gòu)建再測試的方法來開發(fā)最先進的工藝過于耗時且成本過高,如今已經(jīng)不再適用。 工藝...
在本演示中,DRAM的有源區(qū) (AA) 使用自對準四重圖形技術(shù) (SAQP) 和傾角20°的光刻-刻蝕-光刻-刻蝕 (LELE或LE2) 對多余的圖形進...
基于軟件Agent的虛擬工藝設(shè)計系統(tǒng)的研究
和以往的計算機輔助工藝設(shè)計系統(tǒng)相比,VPPS系統(tǒng)更加強調(diào)工藝的異地協(xié)同設(shè)計,充分利用合作企業(yè)已有的設(shè)計、制造資源,確保了產(chǎn)品工藝設(shè)計的可靠性和敏捷性,提...
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