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標(biāo)簽 > MEMS壓力傳感器

MEMS壓力傳感器

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  MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件,受到壓力時變形??梢岳脩?yīng)變儀(壓阻型感測)來測量這種形變,也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行,輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)使用比較結(jié)實的壓阻方法。

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MEMS壓力傳感器簡介

  MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應(yīng)用是傳動系統(tǒng)壓力感測,通常用于自動裝置之中,但也用于新型雙離合器傳動系統(tǒng)。德國廠商推出了一款MEMS解決方案,使用油來保護(hù)硅薄膜,使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變化,當(dāng)時使用的是多孔硅,帶來了高度可靠的MEMS器件,這些器件已用于目前的側(cè)面氣囊等應(yīng)用之中。

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mems壓力傳感器知識

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