據(jù)麥姆斯咨詢報道，近期，來自南京理工大學的研究人員于《新型工業(yè)化》期刊發(fā)表綜述文章，總結了體微加工技術和表面微加工常用的MEMS加工工藝的原理、加工方法及應用，并基于目前的加工技術與應用現(xiàn)狀對MEMS加工工藝的未來發(fā)展進行了展望。
2022-11-30 09:19:58
843 RF MEMS的新一代RF產(chǎn)品和天線調諧器。RF開關和調諧器是手機RF前端模塊中的兩個關鍵組件。RF前端集成了系統(tǒng)的發(fā)送/接收功能，其中，RF開關對無線信號進行路由，調諧器幫助把天線調整匹配
2017-07-13 08:50:15
MEMS麥克風技術帶來的諸多優(yōu)勢體現(xiàn)在其迅速擴大的市場份額中。例如，那些在空間有限的應用中尋找解決方案的人將看好MEMS麥克風提供的小封裝尺寸，以及通過在其內部包含模擬和數(shù)字電路實現(xiàn)的PCB面積和元件成本
2019-02-23 14:05:47
。表面微加工是采用薄膜沉積、光刻以及刻蝕工藝，通過在犧牲層薄膜上沉積結構層薄膜，然后去除犧牲層釋放結構層實現(xiàn)可動結構。除了上述兩種微加工技術以外，MEMS制造還廣泛地使用多種特殊加工方法，其中常見的方法
2016-12-09 17:46:21
關于MEMS傳感器的基礎知識，你了解多少？本文將從MEMS傳感器的概念、制造及工藝、MEMS傳感器與傳統(tǒng)傳感器的區(qū)別、MEMS傳感器的分類幾大部分詳解，幫助初識MEMS傳感器的讀者快速了解這一
2018-11-12 10:51:35
鉑金絲有一定的難度，需要找到合適的芯片焊接方法。針對MEMS傳感器芯片焊接工藝，需要高精密設備來實現(xiàn)。之前遇到朋友來找我說為什么他買的設備據(jù)賣家說是高精密但是焊出來的達不到要求，基本上都芯片引線焊不上
2022-10-18 18:28:49
MEMS全稱微型電子機械系統(tǒng)，相比于傳統(tǒng)的機械，MEMS的尺寸更小，其大小在幾微米及一個厘米之間，而厚度則更加微小。MEMS的生產(chǎn)技術與集成電路類似，可以大量套用集成電路生產(chǎn)中的技術、工藝等進行大批量、低成本生產(chǎn)。因此，性價比會有很大的提升。
2020-08-18 07:19:30
，它們的膨脹和收縮系數(shù)不同，因此，這些變化引起的應力就附加在傳感器的壓力值中。在光學MEMS器件中，由于沖擊、震動或熱膨脹等原因而產(chǎn)生的封裝應力會使光器件和光纖之間的對準發(fā)生偏移。在高精度加速度計和陀螺儀中，封裝需要和MEMS芯片隔離以優(yōu)化性能。
2018-09-07 15:24:09
安全氣囊系統(tǒng)和其他性能低和/或高g-范圍就足夠的應用。ADI公司是表面微加工工業(yè)化的先驅，并實現(xiàn)了MEMS與集成電路的集成。熱氧化主條目：熱氧化為了控制微米級和納米級部件的尺寸，經(jīng)常使用所謂的無蝕刻工藝
2021-01-05 10:33:12
內，封裝應力就會影響傳感器的輸出。當封裝中不同材料混合使用時，它們的膨脹和收縮系數(shù)不同，因此，這些變化引起的應力就附加在傳感器的壓力值中。在光學MEMS器件中，由于沖擊、震動或熱膨脹等原因而產(chǎn)生的封裝
2010-12-29 15:44:12
MEMS技術制造開關的四個主要步驟。開關建構在一個高電阻率硅晶圓(1)上，晶圓上面沉積一層很厚的電介質，以便提供與下方襯底的優(yōu)良電氣隔離。利用標準后端CMOS互連工藝實現(xiàn)到MEMS開關的互連。低電阻率
2018-10-17 10:52:05
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關注，特別是MEMS開關構建的移相器與天線，是實現(xiàn)上萬單元相控陣雷達的關鍵技術，在軍事上有重要意義。在通信領域上亦憑借超低
2019-07-08 08:02:54
元件抵消了可能出現(xiàn)的衍射效率損失，并且保持系統(tǒng)亮度。制造工藝的進步將對系統(tǒng)對比度的影響降到了最低。Pico投影技術變得越來越小、越來越亮，并且功效越來越高，從而在小外形尺寸產(chǎn)品中實現(xiàn)了創(chuàng)新型高清投影
2018-09-06 14:58:52
地與微電子集成。將MEMS與CMOS結構集成在一個真正的一體化器件中雖然挑戰(zhàn)性很大，但并非不可能，而且在逐步實現(xiàn)。與此同時，許多制造商已經(jīng)采用了混合方法來創(chuàng)造成功商用并具備成本效益的MEMS 產(chǎn)品
2018-11-07 11:00:01
的尺寸。在印刷電路板(PCB)上安裝更小尺寸的三軸器件，并插入封閉外殼中，適合在機器上安裝和布線，有助于實現(xiàn)更小的整體封裝，能夠在平臺上靈活放置安裝更多的器件。此外，如今的MEMS設備可包括大量集成、單
2018-10-12 11:01:36
過程應遵從的材料生長、器件制作、信號調制和感應技術的實現(xiàn)等規(guī)則，以避免發(fā)生影響傳感器性能的錯誤。在開發(fā)商用MEMS傳感器時，必須考慮以下幾點：優(yōu)化器件結構設計；包裝設計；可靠的材料性能和標準制造工藝
2018-11-09 10:38:15
是MEMS器件普遍采用的一種封裝形式，改為塑料封裝后可能會增加應力和靈敏度。制造商在封裝過程中對器件進行校準，將之作為測試的一部分，但如果在以后的裝配過程中遇到意想不到的變化，像線路板翹曲和扭曲等，這些
2014-08-19 15:50:19
中國初創(chuàng)企業(yè)（芯奧微、敏芯），所以樓氏電子的市場份額將繼續(xù)下滑。MEMS麥克風廠商們都在研發(fā)創(chuàng)新的技術和制造解決方案，并及時申請專利來保護自己的發(fā)明。蘋果iPhone6中的MEMS麥克風在一項專利侵權
2015-05-15 15:17:00
沉積和蝕刻工藝，產(chǎn)生金屬和多晶硅的形狀集合以形成MEMS麥克風。生產(chǎn)MEMS麥克風涉及到的幾何結構是微米(μm)級。聲波所經(jīng)過的背板中的孔直徑可以小于10 μm，薄膜厚度可以是1 μm左右。薄膜與背板
2019-11-05 08:00:00
匹配將限制系統(tǒng)可實現(xiàn)的性能?！ ?b class="flag-6" style="color: red">實現(xiàn)閉環(huán)工作的另外一種方法使用兩級bang-bang反饋信號。由于只用到兩個點的二次V/F關系，這種方法天生就是線性的，而且并不依賴MEMS電容的匹配或使用負電壓去抵消
2018-12-05 15:12:05
加工工藝技術，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)（如周期、光柵等常數(shù)）發(fā)生改變，從而實時改變光柵的工作性能，實現(xiàn)光柵的可編程應用?；谄洫毺氐膬?yōu)勢，MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領域
2016-08-04 15:08:50
），可以有效處理這些風險設計。同樣讓工藝人員可以了解產(chǎn)品的設計特性，在工裝設計和制程管控中提取準備應對，比如對一些設計無法規(guī)避的設計特征，工藝人員可通過改善工裝，管控相關過程的參數(shù)，來控制制造過程中的應力對相關器件和焊點的影響。部分實例展示：`
2020-09-16 11:50:29
表面貼裝 MEMS 傳感器的通用焊接指南在焊接 MEMS 傳感器時，為了符合標準的 PCB 設計和良好工業(yè)生產(chǎn)，必須考慮以下三個因素：? PCB 設計應盡可能對稱：? VDD / GND 線路上的走
2023-09-13 07:42:21
在焊接 MEMS 傳感器時，為了符合通常的 PCB 設計和良好工業(yè)生產(chǎn)，必須考慮以下三個因素：? PCB 設計應盡可能對稱– VDD/GND 走線無需太寬 （功耗極低）– 傳感器封裝的下方無過孔或走
2023-09-13 06:37:08
用戶可選刻度（據(jù)我了解，單位“g”指的是測量的靈敏度）。我想知道為了獲得良好的系統(tǒng)性能，我應該選擇前面提到的量表中的適當靈敏度值是多少？換句話說，如何知道與所需應用相匹配的正確值？
2022-12-29 09:13:38
--裝配等。這些制程都會對PCB產(chǎn)生應力，整個應力會隨著工藝流程累計疊加，最后會導致PCB自身開裂和器件損害。
2022-03-22 11:41:41
RF MEMS的新一代RF產(chǎn)品和天線調諧器。RF開關和調諧器是手機RF前端模塊中的兩個關鍵組件。RF前端集成了系統(tǒng)的發(fā)送/接收功能，其中，RF開關對無線信號進行路由，調諧器幫助把天線調整匹配
2017-07-13 09:14:06
u3000阻抗匹配問題是電子技術中的一項基本概念，通過匹配可以實現(xiàn)能量的最優(yōu)傳送，信號的 最佳處理?？傊?，匹配關乎著系統(tǒng)的性能，使匹配則是使系統(tǒng)的性能達到約定準則下的最優(yōu)。其實，阻抗匹配的概念還可
2023-09-25 06:12:00
具有許多獨特的優(yōu)勢。 它們在相同的性能等級中較小，并且經(jīng)過設計和調整，使其在多麥克風音頻信號之間具有匹配的幅度和相位。此外，MEMS技術可抵抗高溫和回流焊，從而實現(xiàn)了自動化的PCB組裝過程。語音用戶界面
2020-09-01 18:48:02
Frequency, RF）微機MEMS開關軟磁懸臂梁的制備工藝進行研究。 在MEMS工藝中，通過電沉積方法獲得厚度較大的薄膜已經(jīng)比較普遍[1]。將電鍍沉積方法應用在MEMS工藝中，可以快速和準確地獲得
2019-07-04 08:14:01
級設計、器件級仿真、工藝模擬和版圖設計。在工藝模擬功能方面，目前的商業(yè)軟件，雖然都支持三維工藝模擬，但是工藝的模擬和實現(xiàn)都是比較簡單和理想化的，并且缺乏工藝設計能力。而目前很多MEMS研究人員對工藝
2019-06-25 06:41:25
驅動的 MEMS光柵， 由于其工藝易于實現(xiàn)、耗能低、頻率響應高，因此是最常用的驅動方式。著名的光柵光閥（GLV）和氣體探測器（Polychromix） 都是采用靜電驅動的。 靜電驅動的可編程光柵還存在
2017-10-09 14:07:25
民用建筑內的應力 航天飛機加速器propergol內的應力 這里是光纖（F/O）應力規(guī)格的一些特性及其優(yōu)勢 1)精確度：在要求不嚴格的應用中（例如隨意環(huán)境中的表面安裝應變儀）F/O
2018-10-30 16:13:45
，MEMS器件已經(jīng)滲透于我們的生活之中。轉屏是智能手機中的一項基本功能，如圖.3所示，這項功能是通過MEMS陀螺儀來實現(xiàn)的。圖.4展示了傳統(tǒng)機械陀螺儀與MEMS陀螺儀的對比，后者比前者小得多，因而得以在
2020-05-12 17:27:14
軌道交通裝備傳感器尚屬二代產(chǎn)品，仍以模擬量傳輸為主，易受干擾，同時在惡劣條件下發(fā)生故障后，尚無法實現(xiàn)自診斷，不具備自愈能力?！鼻赜抡f，MEMS工藝就是要實現(xiàn)信號輸出從模擬改為數(shù)字，具備自校正、自診斷
2018-12-03 16:33:20
MEMS器件等工藝咨詢，謝謝！北京方華佳瑞科技有限公司
2016-11-08 14:25:07
大量消費性市場應用中的實用性，例如麥克風和游戲機等。我們似乎可以歸納出一個結論：未能整合MEMS功能的系統(tǒng)就不算完整。因此，MEMS遂成為每一系統(tǒng)在實現(xiàn)其功能、彈性以及與外界互連時不可或缺的新類比元件。
2019-07-26 08:16:54
大量消費性市場應用中的實用性，例如麥克風和游戲機等。我們似乎可以歸納出一個結論：未能整合MEMS功能的系統(tǒng)就不算完整。因此，MEMS遂成為每一系統(tǒng)在實現(xiàn)其功能、彈性以及與外界互連時不可或缺的新類比元件。
2019-07-26 06:22:58
的線性度受傳感器系統(tǒng)鏈中每個模塊的線性度影響，而且C/V和A/D的動態(tài)范圍要求可能會更加嚴格。相反，將MEMS傳感器放在負反饋閉環(huán)中使用有許多好處，例如改進的帶寬、對MEMS器件的工藝和溫度變化具有
2018-11-06 16:07:28
請教各位，我現(xiàn)在需要測量墻體的振動，墻體各部位的應力大小和振動大小是否有線性關系？比如應力越大的地方，振幅越小之類的
2015-05-06 15:01:40
為了不影響工藝水平的發(fā)展如何消除差分放大器中的不匹配效應？
2021-04-07 06:12:25
的熱應力分布，封裝體的幾何結構參數(shù)對應力的影響，重點討論了芯片與粘結層界面上和基板與粘結層界面上的層間應力分布 封裝中的界面熱應力分析[hide][/hide]
2012-02-01 17:19:01
隨著我國經(jīng)濟的騰飛，公路、大跨度橋梁、大壩等大型巖土建筑數(shù)量越來越多。而地質因素、施工質量、建筑老化等問題使巖土建筑的健康狀況的監(jiān)控變得日益迫切，當今主流的檢測應力方法多為人工定時持應力監(jiān)測設備進行實地測量，這就難免導致數(shù)據(jù)監(jiān)測的不及時,并產(chǎn)生人為誤差。
2019-11-06 07:31:58
基于超聲波聲彈性理論的應力測量方法是利用了被測對象中超聲波速與應力之間的存在固有的關系，且這種關系在同一溫度下具有較好的線性度。超聲應力儀正是將這種物理特性轉為現(xiàn)實應用的典型力學定量檢測產(chǎn)品。現(xiàn)行
2017-08-24 17:20:21
與主動組件、相機穩(wěn)定與GPS的陀螺儀、小型燃料電池與生化芯片等，應用最多的傳感器是加速計、陀螺儀與MEMS硅麥克風，其中加速度計是該市場中第一大應用產(chǎn)品。而近期陀螺儀增長迅速，已經(jīng)成為繼加速度計后
2016-12-07 15:43:48
，并且保持系統(tǒng)亮度。制造工藝的改進已經(jīng)把對于系統(tǒng)對比度的影響降到最低。微型投影技術變得越來越小、亮度越來越高，并能效更佳，從而在小型產(chǎn)品內實現(xiàn)創(chuàng)新型高清投影顯示應用。
使用MEMS技術實現(xiàn)的創(chuàng)新
2018-08-31 14:01:34
推薦課程：張飛軟硬開源：基于STM32的BLDC直流無刷電機驅動器（視頻+硬件）http://url.elecfans.com/u/73ad899cfd 三相逆變橋中IGBT應力偏高出現(xiàn)在兩種時刻
2019-05-02 12:59:20
目前MEMS （M icroelectromechanical System ）技術已經(jīng)朝著微型化、集成化及智能化的趨勢發(fā)展?；?b class="flag-6" style="color: red">MEMS工藝的硅壓阻式壓力傳感器已經(jīng)廣泛應用于航空、石油化工
2018-11-05 15:37:57
工藝，確立了硅表面MEMS加工工藝體系。表面硅MEMS加工技術的關鍵工藝有哪些？1、低應力薄膜技術表面硅MEMS加工工藝主要是以不同方法在襯底表面加工不同的薄膜，并根據(jù)需要事先在薄膜下面已確定的區(qū)域
2018-11-05 15:42:42
本技術筆記為采用 HLGA 表面貼裝封裝的 MEMS 傳感器產(chǎn)品提供 PCB設計和焊接工藝的通用指南。
2023-09-13 08:03:50
本帖最后由 gk320830 于 2015-3-7 11:21 編輯
釋放MEMS機械結構的干法刻蝕技術濕法刻蝕是MEMS 器件去除犧牲材料的傳統(tǒng)工藝，總部位于蘇格蘭的Point 35
2013-11-04 11:51:00
信號源與負載阻抗的的實部相等，虛部互為相反數(shù)，這叫做共扼匹配。在低頻電路中，我們一般不考慮傳輸線的匹配問題，只考慮信號源跟負載之間的情況，因為低頻信號的波長相對于傳輸線來說很長，傳輸線可以看成是“短線
2019-05-31 07:11:29
具有多種驅動方式，而靜電驅動的 MEMS光柵， 由于其工藝易于實現(xiàn)、耗能低、頻率響應高，因此是最常用的驅動方式。著名的光柵光閥（GLV）和氣體探測器（Polychromix） 都是采用靜電驅動的。 靜電
2016-07-27 11:46:44
本文介紹了解決微型 MEMS 無縫互連的創(chuàng)新工藝。
2009-11-26 15:32:42
16 目前預應力混凝土結構按施工特征可分為兩大類，即先張法和后張法。而在后張法中又有有粘結和無粘結之分。
2009-12-28 16:03:358 采用有限元法對相同溫度場的焊縫與母材強度和線膨脹系數(shù)匹配影響焊接殘余應力的規(guī)律進行了數(shù)值模擬。計算結果表明：等強等脹匹配的焊縫區(qū)縱向殘余拉應力水平高達母材的屈
2010-01-26 15:48:5810 蘇州敏芯微電子成功研發(fā)面向 MEMS 微硅傳感器制程的 SENSA 工藝。敏芯目前已經(jīng)將此工藝應用于公司生產(chǎn)的微硅壓力傳感芯片 MSP 系列產(chǎn)品中
2011-04-28 09:05:351349 “上海先進”（ASMC/上海先進半導體制造股份有限公司）在MEMS（微機電系統(tǒng)）代工領域取得重大進展，在打造國內MEMS工藝生產(chǎn)平臺的同時首條MEMS工藝生產(chǎn)線已進入量產(chǎn)。
2011-09-27 18:16:021055 MEMS表面微機械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進行的 MEMS 制造工藝。表面微加工中，采用低壓化學氣相淀積(LPCVD)這一類方法來獲得作為結構單元的薄膜。表面微加工工藝采用若
2011-11-01 11:45:2311161 對基于BCB的圓片級封裝工藝進行了研究，該工藝代表了MEMS加速度計傳感器封裝的發(fā)展趨勢，是MEMS加速度計產(chǎn)業(yè)化的關鍵。選用3000系列BCB材料進行MEMS傳感器的粘結鍵合工藝試驗，解決了
2012-09-21 17:14:240 MEMS生產(chǎn)或與COMS工藝融合,但不一定什么工藝都可以和COMS工藝融合在一起,實現(xiàn)標準化，需要產(chǎn)業(yè)鏈的支撐。
2012-12-10 16:16:352697 本文重點描述運用MEMS微機械加工工藝技術設計、加工、生產(chǎn)胎壓傳感器IC芯片，希望對大家學習MEMS有所幫助
2012-12-11 14:17:267238 MEMS陀螺儀對微機械加工工藝具有高度的敏感性，加工工藝偏差、加工應力以及可靠性等對MEMS陀螺儀的成品率至關重要。整個微機械加工工藝流程是實現(xiàn)MEMS陀螺儀長期穩(wěn)定工作的基礎，因此必須加強微機械加工工藝過程的控制。
2018-07-17 08:28:001471 MEMS陀螺儀對微機械加工工藝具有高度的敏感性，加工工藝偏差、加工應力以及可靠性等對MEMS陀螺儀的成品率至關重要。整個微機械加工工藝流程是實現(xiàn)MEMS陀螺儀長期穩(wěn)定工作的基礎，因此必須加強微機械加工工藝過程的控制。
2018-06-13 15:14:001608 流體壁面剪應力的測量對于流動減阻、湍流結構機理研究等方面都具有重要的作用，但是這一物理量較難測得。近年來，MEMS （Micro-electromechanical System，微電子
2018-02-04 10:45:051 而mems即微機電系統(tǒng),是一門新興學科和領域,跟ic有很大的關聯(lián),當然mems工藝也和cmos工藝會有很大的相似之處,現(xiàn)在的發(fā)展方向應該是把二者集成到一套的工藝上來.
對mems不是特別的了）
2018-07-13 14:40:0019763 MEMS振蕩器己得到了非常廣泛的使用，并在很多應用中穩(wěn)步取代晶體振蕩器。MEMS振蕩器與晶體振蕩器相比具有諸多顯著的優(yōu)勢，例如提高了可靠性和對機械應力的抗力，以及在寬溫度范圍內保持平穩(wěn)的性能。MEMS振蕩器還具備一定的靈活性，可通過編程和配置生成多個輸出時鐘。
2018-03-21 11:41:300 MEMS技術基于已經(jīng)是相當成熟的微電子技術、集成電路技術及其加工工藝。它與傳統(tǒng)的IC工藝有許多相似之處，如光刻、薄膜沉積、摻雜、刻蝕、化學機械拋光工藝等，但是有些復雜的微結構難以用IC工藝實現(xiàn)，必須采用微加工技術制造。
2019-12-25 10:03:092630 陀螺儀對微機械加工工藝具有高度的敏感性，加工工藝偏差、加工應力以及可靠性等對MEMS陀螺儀的成品率至關重要。整個微機械加工工藝流程是實現(xiàn)MEMS陀螺儀長期穩(wěn)定工作的基礎，因此必須加強微機械加工工藝過程的控制。 加工精度控制 MEMS陀螺儀微敏
2020-04-16 16:37:51298 敏芯股份稱，MEMS芯片的制造工藝和集成電路芯片完全不同，且一種MEMS芯片對應一種制造工藝。芯片研發(fā)公司要想做出性能出色的MEMS芯片，首先要有自主開發(fā)生產(chǎn)工藝的能力。這是MEMS芯片企業(yè)創(chuàng)業(yè)艱難的核心所在，也是公司推動MEMS產(chǎn)業(yè)鏈全國產(chǎn)化的原因。
2020-05-30 11:08:1413787 通常對某個頻點上的阻抗匹配可利用SMITH圓圖工具進行，兩個器件肯定能搞定，即通過串+并聯(lián)電感或電容即可實現(xiàn)由圓圖上任一點到另一點的阻抗匹配，但這是單頻的。而手機天線是雙頻的，對其中一個頻點匹配
2020-11-10 10:39:007 CMOS器件是在硅材料上逐層制作而成的。雖然蝕刻和沉積是標準工藝，但它們主要使用光刻和等離子蝕刻在裸片上創(chuàng)建圖案。另一方面，MEMS是采用體硅加工工藝嵌入到硅中，或通過表面微加工技術在硅的頂部形成。
2020-09-01 11:21:323490 不久前，MEMS 蝕刻和表面涂層方面的領先企業(yè) memsstar 向《電子產(chǎn)品世界》介紹了 MEMS 與傳統(tǒng) CMOS 刻蝕與沉積工藝的關系，對中國本土 MEMS 制造工廠和實驗室的建議
2022-12-13 11:42:001674 不久前，MEMS 蝕刻和表面涂層方面的領先企業(yè) memsstar 向《電子產(chǎn)品世界》介紹了 MEMS 與傳統(tǒng) CMOS 刻蝕與沉積工藝的關系，對中國本土 MEMS 制造工廠和實驗室的建議等。
2020-12-08 23:36:0025 MEMS制程各工藝相關設備的極限能力又是限定器件尺寸的關鍵要素，且其相互之間的配套方能實現(xiàn)設備成本的最低；下面先簡要介紹一下前段制程的特點及涉及的設備。
2021-01-11 10:35:422139 MEMS技術是目前很多廠家都在使用的先進技術之一，在前兩篇文章中，小編對MEMS存儲設備請求調度算法以及MEMS存儲設備的故障管理有所介紹。為增進大家對MEMS的了解，本文將對典型的MEMS工藝流程以及MEMS加速度計的運用前景予以闡述。如果你對MEMS具有興趣，不妨繼續(xù)往下閱讀哦。
2021-02-13 17:29:003601 ，然后釋放部件，允許它們做橫向和縱向的運動，從而形成MEMS執(zhí)行器。最常見的表面微機械結構材料是LPVCD淀積的多晶硅，多晶硅性能穩(wěn)定且各向同性，通過仔細控制淀積工藝可以很好的控制薄膜應力。此外，表面微加工工藝與集成電路生產(chǎn)工藝兼容，且集成度較高。
2021-02-11 17:38:008663 MEMS 振蕩器已得到了非常廣泛的使用，并在很多應用中穩(wěn)步取代晶體振蕩器。MEMS 振蕩器與晶體振蕩器相比具有諸多顯著的優(yōu)勢，例如提高了可靠性和對機械應力的抗力，以及在寬溫度范圍內保持平穩(wěn)的性能。MEMS振蕩器還具備一定的靈活性，可通過編程和配置生成多個輸出時鐘。
2021-04-01 13:57:1310 中心占地面積1000平方米，擁有凈化面積達500平方米的4英寸MEMS工藝線，配置了國際一流的微納加工、測試、封裝設備，具備硅基MEMS矢量水聽器、MEMS壓阻式壓力傳感器、MEMS加速度計、熱電堆紅外探測器等全套工藝加工能力
2021-04-06 11:06:233629 MEMS工藝——半導體制造技術說明。
2021-04-08 09:30:41237 件、電子電路、傳感器、執(zhí)行機構集成在一塊電路板上的高附加值元件。 MEMS工藝 MEMS工藝以成膜工序、光刻工序、蝕刻工序等常規(guī)半導體工藝流程為基礎。 下面介紹MEMS工藝的部分關鍵技術
2021-08-27 14:55:4417759 贊助商廣告展示 原文標題：MEMS芯片制造工藝流程詳解 文章出處：【微信公眾號：今日半導體】歡迎添加關注！文章轉載請注明出處。 ? ? ? 審核編輯：彭靜
2022-07-11 16:20:185860 同時實現(xiàn)阻抗匹配和噪聲匹配的方法介紹
2022-07-31 16:18:537 鍵合技術是 MEMS 工藝中常用的技術之一，是指將硅片與硅片、硅片與玻璃或硅片與金屬等材料通過物理或化學反應機制緊密結合在一起的一種工藝技術。
2022-10-11 09:59:573731 Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 結構在制作 CMOS 之前完成，帶有MEMS 微結構部分的硅片可以作為 CMOS 工藝的初始材料。
2022-10-13 14:52:435875 隨著微電子技術的飛速發(fā)展，微電子機械系統(tǒng)（MEMS）逐漸成為眾多領域的研究熱點。MEMS器件在諸如傳感器、執(zhí)行器等方面表現(xiàn)出卓越的性能，但要實現(xiàn)這些優(yōu)越特性，對其封裝結構和制造工藝要求極高。本文將詳細介紹MEMS器件真空封裝結構及其制造工藝。
2023-04-21 14:18:181042 
本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關于MEMS制造工藝的多篇系列內容，全面、專業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況，推薦！ ? 作為現(xiàn)代傳感器重要的制造技術，MEMS
2023-10-20 16:10:351408 
元宇宙的實現(xiàn)需要哪些MEMS技術
2023-11-24 17:12:30172 膜厚測試在MEMS制造工藝中至關重要，它不僅關乎工藝質量，更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質，精確測量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
2024-01-08 09:40:54262 
共讀好書 張晉雷 （華芯拓遠（天津）科技有限公司） 摘要： 為解決 MEMS 加速度傳感器芯片貼裝過程中的外部應力變化對芯片內部結構產(chǎn)生的消極影響，研究提出了微機械硅芯片懸空打線工藝，對加速度傳感器
2024-02-25 17:11:34140 
密性等。本文介紹了五種用于MEMS封裝的封帽工藝技術,即平行縫焊、釬焊、激光焊接、超聲焊接和膠粘封帽。總結了不同封帽工藝的特點以及不同MEMS器件對封帽工藝的選擇。本文還介紹了幾種常用的吸附劑類型,針對吸附劑易于飽和問題,給出了封帽工藝解決方案,探
2024-02-25 08:39:28171 
在MEMS工藝中，常用的退火方法，如高溫爐管退火和快速熱退火（RTP）。RTP (Rapid Thermal Processing)是一種在很短的時間內將整個硅片加熱到400~1300°C范圍的方法。
2024-03-19 15:21:05122 
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