《第24期“見微知著”培訓(xùn)課程：MEMS技術(shù)進階》在無錫圓滿落幕！

2020年8月14日至8月16日，由麥姆斯咨詢主辦，上海傳感信息科技有限公司和華強電子網(wǎng)協(xié)辦的《第24期“見微知著”培訓(xùn)課程：MEMS技術(shù)進階》在無錫圓滿落幕！本課程共邀請了七位產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗豐富、技術(shù)能力卓越的學(xué)術(shù)界大師和企業(yè)技術(shù)專家，為大家?guī)砭始姵实腗EMS知識盛宴。課程以熱門MEMS器件為主線，從原理、設(shè)計、制造、封測、可靠性分析及應(yīng)用等重要環(huán)節(jié)入手，為學(xué)員解析MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀以及發(fā)展脈絡(luò)，旨在幫助MEMS從業(yè)人員提升專業(yè)技能。

《第24期“見微知著”培訓(xùn)課程：MEMS技術(shù)進階》師生合影留念

培訓(xùn)現(xiàn)場圖：學(xué)員們認真聆聽講師授課

囊括MEMS關(guān)鍵環(huán)節(jié)，“一站式”覆蓋產(chǎn)業(yè)熱點！

8月14日上午，由中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的研究員王躍林為大家開啟了MEMS產(chǎn)業(yè)鏈之旅，帶來《從MEMS發(fā)展到NEMS的啟示》。王躍林老師憑借在國家級重大項目二十多年的錘煉，以自己的親身經(jīng)歷梳理出MEMS技術(shù)發(fā)展脈絡(luò)，與學(xué)員分享了對MEMS產(chǎn)業(yè)成長的獨到看法。王躍林老師首先通過MEMS技術(shù)上的重大突破以及MEMS器件的廣泛應(yīng)用，凸顯了MEMS技術(shù)的重要地位。隨后對壓力傳感器、加速度計、陀螺儀以及熱電紅外傳感器等典型MEMS器件層層剖析，讓學(xué)員從中收獲頗豐。恰逢今年中國芯片遇到了歷史上較為艱難的時刻，雖然美國全產(chǎn)業(yè)鏈封殺華為等中國強企，但從亟需尋找***芯片和設(shè)備角度來看，也為中國芯片崛起創(chuàng)造了巨大機遇。王老師強調(diào)：整個MEMS產(chǎn)業(yè)鏈中，制造仍是關(guān)鍵環(huán)節(jié)，我們需要通過不斷摸索發(fā)現(xiàn)、建設(shè)中試研發(fā)平臺來解決“研發(fā)難、驗證難”的問題，在IC工廠建成MEMS規(guī)模制造平臺來解決量產(chǎn)難的問題，同時MEMS產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展的趨勢是“適應(yīng)個性化需求”。課程最后，王老師對NEMS的制造技術(shù)、工藝做了詳解。

中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員王躍林老師的授課風采

8月14日下午開啟了針對MEMS熱門器件的講解，首先邀請到中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的研究員焦繼偉為大家講解《慣性MEMS》。課程伊始焦繼偉老師即以兩句話總結(jié)了目前慣性MEMS傳感器市場大趨勢——“‘萬億傳感器’的AIoT時代，MEMS為王”以及“‘萬物皆運動，控制靠感知’，慣性傳感器地位依舊”。接著，焦老師從慣性傳感器的基礎(chǔ)理論知識入手，為學(xué)員逐一講解了MEMS加速度計和陀螺儀的器件結(jié)構(gòu)、檢測/換能原理和主要制造工藝等關(guān)鍵技術(shù)以及典型應(yīng)用。隨后焦老師專門對消費級、工業(yè)級和戰(zhàn)術(shù)級MEMS慣性傳感器做了對比分析。焦老師認為，微慣性測量單元（MIMU）是目前組合式慣性傳感器的發(fā)展重點，另外還介紹了消費類MEMS器件對晶圓級封裝（WLP）的強烈需求以及WLP技術(shù)在慣性MEMS器件的發(fā)展進程和面臨的挑戰(zhàn)。課程最后，焦老師分析了目前慣性傳感器的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀以及主要供應(yīng)商。焦老師總結(jié)道，消費類慣性傳感器市場早已是紅海，但中高端器件仍非常稀缺；隨著整體產(chǎn)業(yè)鏈成熟度的提升，傳統(tǒng)慣性產(chǎn)品研發(fā)突破難度非常大，需要持續(xù)提升平臺能力及開放性，整體生態(tài)鏈依舊脆弱。因此，人才培養(yǎng)、差異化競爭、力搶價值高地是該產(chǎn)業(yè)競爭制勝的殺手锏。

中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員焦繼偉老師的授課風采

8月15日上午，由山東大學(xué)的陶繼方教授為大家傳授《光學(xué)MEMS》。陶繼方老師在硅基微納光電子器件的設(shè)計、制造和封裝工藝方面擁有多年實戰(zhàn)經(jīng)驗，首先就從硅基集成光學(xué)器件和光學(xué)MEMS器件的基礎(chǔ)知識入手，為大家梳理了硅光芯片的關(guān)鍵組成、基本工藝和應(yīng)用；另外還介紹了微鏡/微振鏡、紅外熱電堆、光開關(guān)、光子麥克風以及波長可調(diào)激光器等典型光學(xué)MEMS器件。陶老師提到，MEMS器件設(shè)計占20%，而工藝技術(shù)要占到80%，可見制造工藝的重要性。為了能夠讓學(xué)員對此類型傳感器有更清晰的認知，陶老師以自己的研究成果與學(xué)員分享。都說基礎(chǔ)知識比較枯燥，但在陶老師的課堂中，時而提問問答、時而歡聲笑語，氣氛異常熱烈。接著，陶繼方老師又分別對揮發(fā)性有機化合物檢測、集成高精度露點傳感器以及集成紅外氣體傳感器的角度等硅基光電子熱門器件進行了深入講解，主要對器件工作原理及測量結(jié)果進行對比分析，同時還結(jié)合對市場發(fā)展趨勢的分析。陶老師通過對比梳理典型器件技術(shù)，總結(jié)認為目前光學(xué)氣體傳感器市場非常集中，產(chǎn)業(yè)格局正處于大調(diào)整中。課程最后，陶老師還與學(xué)員們分享了自己在“納米光子集成傳感器”和“光學(xué)MEMS傳感器”的成果經(jīng)驗。

山東大學(xué)陶繼方教授的授課風采

當天上午第二節(jié)課《紅外探測器》由上海巨哥電子科技有限公司總經(jīng)理沈憧棐為大家?guī)?。沈憧棐老師在紅外成像精確測溫、低成本紅外探測器等方向上具有眾多前瞻性的研發(fā)成果和豐富的行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗。課程伊始，沈憧棐老師即結(jié)合日常生活中大家常見的物品，對微測輻射熱計的工作原理和分類進行了詳細講解，隨后過渡到對其性能的闡述。對于評估性能的主要參數(shù)，沈老師向大家展示了NETD、響應(yīng)時間常數(shù)、測溫動態(tài)范圍、陣列響應(yīng)一致性以及溫度穩(wěn)定性等參數(shù)的定義和意義。接著沈老師分別對氧化釩和非晶硅微測輻射熱計的加工工藝進行了剖析，沈老師總結(jié)道，氧化釩微測輻射熱計主要應(yīng)用于成像型熱像儀，而非晶硅微測輻射熱計則在測溫型和成像型應(yīng)用均有涉及，同時探測器的最終性能是由讀出電路、MEMS電阻結(jié)構(gòu)和真空封裝等多因素共同決定。而針對“如何制造出性能最佳的探測器”，沈老師分別從柱孔連接、應(yīng)力平衡、材料性能優(yōu)化、噪聲改善以及極限線寬等多方面提出了獨特見解，以期為學(xué)員們帶來更多的啟發(fā)。課程的最后，沈老師對非制冷型微測輻射熱計的國內(nèi)外供應(yīng)商進行了梳理，同時也解析了紅外探測器技術(shù)未來的發(fā)展方向。

上海巨哥電子科技有限公司總經(jīng)理沈憧棐的授課風采

8月15日下午，由蘇州美圖半導(dǎo)體技術(shù)有限公司總經(jīng)理王云翔為大家?guī)怼禡EMS制造及封裝技術(shù)》。課程上半程，王云翔老師首先為學(xué)員分析了MEMS與IC在制造設(shè)備、材料的需求差異，突出了MEMS器件制造的特殊性。進而對體微加工、表面微加工、CMOS MEMS以及非硅加工技術(shù)等典型MEMS制造工藝流程進行了講解，尤其細致剖析了玻璃、塑料、金屬、橡膠與纖維等非硅材料及其加工技術(shù)。隨后，王老師對單步特殊制造工藝進行了重點闡述，以Bosch工藝為例解讀了深硅刻蝕；后又結(jié)合市場上主流***、光刻膠講解了特殊光刻和噴膠工藝，同時還為學(xué)員介紹了各類鍵合技術(shù)、應(yīng)用場景以及所用到的特殊材料。課程下半程，王老師結(jié)合著MEMS結(jié)構(gòu)特征解析了MEMS封裝技術(shù)以及與IC封裝的差異。隨后結(jié)合案例分別對典型的MEMS器件級封裝工藝和MEMS晶圓級封裝工藝做了剖析。王云翔老師的課程內(nèi)容詳實豐富，并結(jié)合自身經(jīng)驗以及對市場發(fā)展前景的分析，讓學(xué)員收獲滿滿。

蘇州美圖半導(dǎo)體技術(shù)有限公司總經(jīng)理王云翔的授課風采

8月16日上午，由東南大學(xué)副研究員王磊為大家?guī)怼禡EMS可靠性分析》，這是我們本次課程學(xué)員最為喜愛也是最為關(guān)注的課程之一。課程之初，王磊老師就為大家點明了對MEMS器件可靠性至關(guān)重要的環(huán)境、失效機理以及壽命等關(guān)鍵因素，王磊老師告訴大家，可靠性需求一般來源于應(yīng)用背景和器件類型綜合考慮，包括器件預(yù)期工作壽命、器件預(yù)期貯存壽命、器件裝配失效概率、器件工作失效概率。王老師主要針對MEMS器件應(yīng)用背景、各類MEMS器件對可靠性的不同需求進行介紹，從貯存和工作壽命來看，軍用MEMS器件對可靠性的要求遠高于民用MEMS器件。MEMS材料力學(xué)性能評價及評價標準對MEMS器件實用化有著顯著的意義，因此王老師為我們詳細介紹了楊氏模量、殘余應(yīng)力/應(yīng)變、泊松比、疲勞性能、熱導(dǎo)率等主流的力學(xué)性能評價標準，同時向大家強調(diào)“對于給定設(shè)計的產(chǎn)品，工藝一致性、穩(wěn)定性是可靠性的唯一評價標準”。接著，王磊老師以自身的實戰(zhàn)經(jīng)驗，生動地為大家展示了沖擊斷裂、沖擊粘附、鍵合線脫落或斷裂、絕緣層漏電流、ESD等常見的MEMS失效模式及失效機理。隨后，通過分析現(xiàn)行的國內(nèi)外通用標準，讓學(xué)員系統(tǒng)地了解了關(guān)于可靠性測試及分析的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。王磊老師承擔和參與過多項國家科研項目以及企業(yè)合作項目，因此在MEMS結(jié)構(gòu)和工藝的可靠性問題中非常有發(fā)言權(quán)，利用自己研究中的實例為學(xué)員展示了多種工藝問題，讓學(xué)員大開眼界，王老師直言，可靠性問題就好比探案，抽絲剝繭得到的原因往往是你未曾想到的。課程的最后，王老師針對產(chǎn)業(yè)界關(guān)注的幾種器件（加速度計、陀螺儀、微鏡）做了專題介紹。

東南大學(xué)副研究員王磊的授課風采

8月16日下午，由北京大學(xué)王瑋教授帶來本次課程的最后一課《生物MEMS》。王瑋教授憑借在微納流體技術(shù)相關(guān)領(lǐng)域研究所數(shù)十載積累的經(jīng)驗，為學(xué)員們帶來了一場生物MEMS的盛宴。首先，王瑋教授首先為大家梳理了生物MEMS技術(shù)所涵蓋的基本概念，以及生物MEMS在傳感器市場的地位和應(yīng)用。后為學(xué)員重點介紹了生物MEMS領(lǐng)域的幾種主要襯底材料及加工方法。王偉老師強調(diào)，微流控從研究到產(chǎn)業(yè)成功的關(guān)鍵在于研發(fā)出臨床診斷等高性價比的殺手锏應(yīng)用。隨后通過對研究進展的逐步梳理為大家勾勒出基于微流控和濾膜技術(shù)的液態(tài)活檢技術(shù)的成長圖。近年來，隨著檢測技術(shù)的不斷完善，新興液體活檢研究對象：循環(huán)腫瘤DNA（ctDNA）與外泌體（exosome）在腫瘤精準醫(yī)療的臨床應(yīng)用領(lǐng)域各放異彩，王瑋老師結(jié)合自身研究方向，詳細剖析了相關(guān)概念、臨床應(yīng)用現(xiàn)狀和檢測所面臨的挑戰(zhàn)。課程最后，在談到液態(tài)活檢的應(yīng)用前景及商業(yè)化現(xiàn)狀時，王老師總結(jié)分析了液態(tài)活檢全產(chǎn)業(yè)鏈、典型產(chǎn)品以及市場現(xiàn)狀和預(yù)測；同時還將液體活檢技術(shù)在臨床應(yīng)用的優(yōu)勢利用示例對比體現(xiàn)地淋漓盡致。王偉老師的課堂充滿了各類微流控領(lǐng)域的有趣實驗，讓學(xué)員在興味盎然中飽獲知識營養(yǎng)，廣受學(xué)員贊譽。

北京大學(xué)王瑋教授的授課風采

勤學(xué)好問，共商共討；彼此交流，加持收獲！

本次培訓(xùn)中不僅有講師辛勤的付出，更有學(xué)員們不懈的努力；學(xué)員間熱烈、酣暢的交流，可以讓每位學(xué)員對知識和技能的學(xué)習成果進化、升華，真正實現(xiàn)“講師傳授知識+學(xué)員吸收理解+交流融合”成為“碩果滿堂”。根據(jù)學(xué)員對思想碰撞的強烈期待，麥姆斯咨詢工作人員特意在課程中安排了“介紹自己，互換資源”的環(huán)節(jié)，為學(xué)員提供了更廣闊的溝通平臺。學(xué)員們也給予我們此次培訓(xùn)高度評價，認為這是每年的MEMS技術(shù)盛會，也是對MEMS行業(yè)的整合。為學(xué)員創(chuàng)造收獲知識、挖掘資源的平臺，幫助大家實現(xiàn)資源升級、技術(shù)勇攀高峰，是麥姆斯咨詢最重要的價值體現(xiàn)！

學(xué)員們交流環(huán)節(jié)

至此，麥姆斯咨詢舉辦的《第24期“見微知著”培訓(xùn)課程：MEMS技術(shù)進階》圓滿完成！麥姆斯咨詢將繼續(xù)保持專業(yè)精神，為廣大學(xué)員求得賢師；同時還將繼續(xù)秉承精益求精的精神，不斷開拓進??；麥姆斯咨詢將持續(xù)為大家?guī)砀嗟木氛n程！新學(xué)員，期待下次相見，老學(xué)員，期待再次重逢！