車規(guī)晶圓制造系列（二）：國內(nèi)玩家

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/李誠）最近一年以來，由于受到汽車芯片短缺的影響，出現(xiàn)了車企減產(chǎn)停工、芯片漲價(jià)的現(xiàn)象，目前，我國的汽車芯片還主要依賴進(jìn)口，如今海外疫情不斷蔓延，車規(guī)晶圓產(chǎn)線產(chǎn)能放緩。依目前市場局勢來看，國內(nèi)車企想通過國際市場，補(bǔ)齊車規(guī)芯片缺口的方法是不可行的。既然國外產(chǎn)線無法滿足市場需求，唯有加快國產(chǎn)替代發(fā)展的速度，才能緩解產(chǎn)業(yè)鏈的供給問題。

全球缺芯，汽車產(chǎn)能受限，中芯國際、華潤微、聞泰科技、華虹集團(tuán)等國內(nèi)擁有晶圓產(chǎn)線的企業(yè)也在增加產(chǎn)線、擴(kuò)大產(chǎn)能，以滿足井噴的市場需求。

中芯國際在2021年Q2唯一一家進(jìn)入全球十大晶圓代工收入前五的企業(yè)，目前中芯國際擁有8座晶圓廠，4座為12英寸產(chǎn)線，4座位8英寸晶圓產(chǎn)線，產(chǎn)線在北京、上海、深圳、天津、浙江均有分布。其中，浙江紹興的8英寸晶圓廠總投資58.8億元，于2020年1月正式量產(chǎn)，該產(chǎn)線主要被用于汽車、家電晶圓的生產(chǎn)。計(jì)劃年產(chǎn)50萬片8英寸晶圓和完成20億顆芯片的封裝，具體產(chǎn)品涵蓋了MEMS、IGBT、MOSFET、RF。

今年7月，有媒體報(bào)道稱，中芯國際在紹興的8英寸晶圓產(chǎn)線已完成晶圓設(shè)備鏈的調(diào)試工作，屆時(shí)8英寸晶圓的產(chǎn)能，將會在原有的基礎(chǔ)上再提升7萬片，晶圓良率會提升至99%及以上。目前，中芯國際已經(jīng)成熟的掌握14nm的晶圓制造工藝，市面上的汽車芯片大多也是采用14nm或28nm的制程工藝，中芯國際完全有能力應(yīng)對汽車晶圓的生產(chǎn)，但前期的產(chǎn)能，對緩解如此緊張市場需求來說作用不大。

華潤微是一家采用IDM生產(chǎn)模式的功率半導(dǎo)體龍頭企業(yè)，擁有多座6英寸和8英寸的晶圓制造產(chǎn)線，其中，6英寸晶圓產(chǎn)線年產(chǎn)量達(dá)248萬片，8英寸晶圓產(chǎn)線年產(chǎn)量144萬片。華潤微在重慶的8英寸晶圓制造產(chǎn)線，主要是應(yīng)用于面向汽車電子、消費(fèi)類電子等領(lǐng)域的功率器件、模擬IC的生產(chǎn)。該產(chǎn)線年產(chǎn)量在60萬片左右。

如今，汽車芯片嚴(yán)重短缺，今年1月8日，華潤微公開表示，公司未來將著重于汽車電子的發(fā)展。此前，華潤微已投資75.5億元用于建設(shè)12英寸的功率器件晶圓產(chǎn)線，今年8月，華潤微電子控股有限公司（華潤微全資子公司）追加42億元用于重慶功率半導(dǎo)體封裝基地的建設(shè)。從華潤微發(fā)布的公告來看，該產(chǎn)線預(yù)計(jì)在明年能實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，產(chǎn)線采用的是90nm的制程工藝，12英寸晶圓月產(chǎn)量在3萬片以上，在未來將會用于工業(yè)控制和汽車電子的晶圓生產(chǎn)。

聞泰科技是國內(nèi)較大的晶圓代工企業(yè)，在收購安世半導(dǎo)體后，芯片產(chǎn)能急劇擴(kuò)大。安世半導(dǎo)體作為全球半導(dǎo)體前三的汽車芯片廠商之一，在汽車電子領(lǐng)域處于領(lǐng)導(dǎo)地位，如今被聞泰科技收購，可以看出聞泰科技十分看好汽車產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

近日聞泰科技在回復(fù)投資者中提到，目前聞泰科技的氮化鎵與硅基氮化鎵功率器件，均已通過車規(guī)級認(rèn)證測試，并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。在車規(guī)級晶圓產(chǎn)線方面，聞泰科技于2020年就開始布局新的車規(guī)級產(chǎn)線，總投資120億元，用于上海自貿(mào)區(qū)12英寸車規(guī)晶圓廠的建設(shè)，預(yù)計(jì)2022年7月開始投產(chǎn)。據(jù)聞泰科技表示，該晶圓廠可完成芯片設(shè)計(jì)、晶圓生產(chǎn)、芯片測封等功能。按計(jì)劃上海車規(guī)晶圓產(chǎn)線可年產(chǎn)40萬片12英寸車規(guī)晶圓，并為聞泰科技帶來33億元的年產(chǎn)值。

華虹集團(tuán)是國內(nèi)主要的晶圓代工企業(yè)，與中芯國際一樣，具有舉足輕重的地位，目前華虹集團(tuán)一共擁有6條晶圓產(chǎn)線，3條8英寸產(chǎn)線、3條12英寸產(chǎn)線，其中華虹宏力（華虹一廠、華虹二廠、華虹三廠）三條產(chǎn)線和華虹無錫產(chǎn)線通過了IATF 16949汽車質(zhì)量管理體系認(rèn)證。

華虹宏力三條產(chǎn)線均為8英寸的晶圓產(chǎn)線，華虹一廠采用的是95nm的制程工藝，2020年該產(chǎn)線月均產(chǎn)能6.5萬片；華虹二廠采用的是0.18μm的制程工藝，2020年該產(chǎn)線月均產(chǎn)能6.0萬片；華虹三廠采用的是90nm的制程工藝，2020年該產(chǎn)線月均產(chǎn)能5.3萬片，三條產(chǎn)線月產(chǎn)總量達(dá)17.8萬片。

華虹無錫產(chǎn)線是一條生產(chǎn)12英寸的晶圓產(chǎn)線，制程工藝覆蓋了90-65/55nm，該產(chǎn)線原本計(jì)劃月產(chǎn)能為4萬片，但2020年該產(chǎn)線月均產(chǎn)能僅有2.0萬片，并未達(dá)到原本設(shè)計(jì)產(chǎn)能。

華虹集團(tuán)的車規(guī)級晶圓產(chǎn)線覆蓋了8英寸和12英寸的產(chǎn)生，4條車規(guī)產(chǎn)線共計(jì)月產(chǎn)能19.8萬片。據(jù)華虹集團(tuán)2020年年報(bào)顯示，工業(yè)領(lǐng)域和汽車領(lǐng)域的營收為2.04億美元，占總營收的21.2%，同比下降4.0%。2021年Q1工業(yè)領(lǐng)域和汽車領(lǐng)域的營收為6000萬美元，同比增長 19.8%。

結(jié)語

目前，國內(nèi)的車規(guī)級芯片產(chǎn)能還是不能滿足市場的井噴需求，部分車規(guī)晶圓生產(chǎn)的產(chǎn)線又處于布局階段，按照布局計(jì)劃要在2022年才能實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，近期缺芯問題還是難以緩解。此次車規(guī)級芯片短缺，刺激國內(nèi)廠商快速布局產(chǎn)線，加速了國產(chǎn)化替代的發(fā)展。