thelec報(bào)道說,隨著高帶寬存儲(chǔ)器(hbm)和3d包的商用化,熱壓縮(tc)聯(lián)合收縮機(jī)市場(chǎng)正在迅速增長(zhǎng)。為應(yīng)對(duì)市場(chǎng)增長(zhǎng),三星子公司semes和韓美半導(dǎo)體等國(guó)內(nèi)設(shè)備公司成功實(shí)現(xiàn)了hbm用tc鍵合機(jī)國(guó)產(chǎn)化,但海外設(shè)備公司對(duì)tc鍵合機(jī)的依賴度仍然很高。
業(yè)界有關(guān)人士表示:“韓國(guó)tc鍵合機(jī)市場(chǎng)似乎正在依靠存儲(chǔ)器配件企業(yè)實(shí)現(xiàn)多邊化?!比?a target="_blank">電子從日本東麗、新川和旗下的sez接收產(chǎn)品。sk海力士目前正在從新加坡asmpt和韓美半導(dǎo)體收購(gòu)用于hbm的tc鍵合機(jī)設(shè)備。
tc鍵合機(jī)是hbm和半導(dǎo)體3d粘合劑為代表性應(yīng)用領(lǐng)域的加工后,在晶片上堆積一個(gè)芯片的熱壓縮粘合劑。日本企業(yè)tc鍵合機(jī)的市場(chǎng)占有率很高。tc鍵合機(jī)銷量排在前6位的公司中,日本公司占據(jù)了3家公司(西寶、新川、東麗)。此外,新加坡的asmpt和荷蘭的besi也是tc鍵合機(jī)市場(chǎng)的強(qiáng)者。besi在非存儲(chǔ)器用tc鍵合機(jī)的銷售中占很大比重。
業(yè)界解釋說:“到最近為止,海外裝備企業(yè)的tc joint主要用于制造hbm。最近,semicus和韓美半導(dǎo)體開始供應(yīng)hbm用tc鍵合機(jī)。”
semes從2000年代后期開始開發(fā)鍵合機(jī)裝置。在2008至2009年間,該公司申請(qǐng)了5項(xiàng)粘合劑機(jī)械相關(guān)專利。之后開始研究多層鍵合機(jī)設(shè)備,目前提供sdb-3000md prime等芯片鍵合機(jī)設(shè)備。
韓美半導(dǎo)體于2017年進(jìn)入tc鍵合機(jī)市場(chǎng)。當(dāng)時(shí)與sk海力士共同開發(fā)鍵合機(jī),用于hbm初期產(chǎn)品的量產(chǎn)。最近,韓美半導(dǎo)體成功開發(fā)出hbm3用“dual tc bonder 1.0 dragon”,向sk海力士承攬了415億韓元規(guī)模的hbm制造設(shè)備訂單。
雖然韓國(guó)tc鍵合機(jī)正在進(jìn)行國(guó)產(chǎn)化,但預(yù)計(jì)短期內(nèi)很難完全代替外國(guó)設(shè)備。因?yàn)槿请娮佑?jì)劃在新一代hbm上使用東麗和新川設(shè)備。
一家裝備企業(yè)的相關(guān)人士表示:“hbm雖然采用了韓國(guó)企業(yè)的dibonder裝備,但是在進(jìn)入非存儲(chǔ)器市場(chǎng)上遇到了困難。”并表示:“besi、asmpt等正在向臺(tái)積電、日月光、安靠等提供產(chǎn)品。”
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