三星、SK海力士探索激光解鍵合技術(shù)

在半導(dǎo)體技術(shù)的浩瀚星空中，三星電子與SK海力士正攜手點(diǎn)亮一顆璀璨的新星——高帶寬存儲(chǔ)器（HBM）晶圓工藝技術(shù)的重大革新。據(jù)韓媒最新報(bào)道，這兩家行業(yè)巨頭已正式邁入下一代HBM的技術(shù)探索之旅，其核心在于引入一種旨在防止晶圓翹曲的新技術(shù)，這一變革預(yù)示著HBM制造領(lǐng)域的新篇章。

技術(shù)革新：激光解鍵合技術(shù)的崛起

在半導(dǎo)體制造的精密工藝中，晶圓解鍵合是一項(xiàng)至關(guān)重要的環(huán)節(jié)，它關(guān)乎到最終產(chǎn)品的質(zhì)量與性能。傳統(tǒng)上，這一過程依賴于機(jī)械方式，即使用刀片將主晶圓與載體晶圓分離。然而，隨著HBM層數(shù)的不斷增加，如12層乃至16層的堆疊設(shè)計(jì)，晶圓變得越來越薄，傳統(tǒng)機(jī)械解鍵合方法逐漸顯露出其局限性。當(dāng)晶圓厚度降至30微米以下時(shí)，機(jī)械剝離不僅效率低下，更存在損壞晶圓的風(fēng)險(xiǎn)，從而增加了后續(xù)蝕刻、拋光、布線等工藝步驟的復(fù)雜性和成本。

正是在這一背景下，三星電子與SK海力士攜手合作伙伴，共同探索激光解鍵合技術(shù)的新路徑。激光解鍵合，顧名思義，是利用激光的高能量密度特性，以非接觸的方式精確地將晶圓從載體上分離，從而避免了機(jī)械剝離可能帶來的損傷。這一技術(shù)的引入，不僅解決了超薄晶圓剝離的難題，更為HBM的進(jìn)一步小型化、高性能化提供了有力支撐。

供應(yīng)鏈變革：新材料與新設(shè)備的涌現(xiàn)

技術(shù)革新往往伴隨著供應(yīng)鏈的重塑。隨著激光解鍵合技術(shù)的逐步應(yīng)用，相關(guān)的材料和設(shè)備供應(yīng)鏈也將發(fā)生深刻變化。傳統(tǒng)的機(jī)械解鍵合設(shè)備市場，主要由日本東京電子和德國SüSS MicroTec等少數(shù)幾家企業(yè)主導(dǎo)，而激光解鍵合技術(shù)的興起，則有望吸引更多新玩家加入，形成更為激烈的競爭格局。

同時(shí)，針對激光解鍵合的特殊需求，晶圓解鍵合粘合劑也需進(jìn)行相應(yīng)升級。美國3M、日本信越化學(xué)、日產(chǎn)化學(xué)等業(yè)界領(lǐng)先企業(yè)，正積極研發(fā)適應(yīng)激光解鍵合工藝的新型粘合材料，以確保晶圓在剝離過程中的穩(wěn)定性和安全性。

展望未來：HBM4與更廣闊的應(yīng)用前景

作為下一代HBM的標(biāo)志性產(chǎn)品，HBM4在堆疊DRAM存儲(chǔ)器的底部采用了基于系統(tǒng)半導(dǎo)體的“基礎(chǔ)芯片”，這一設(shè)計(jì)對工藝精度和晶圓厚度提出了更高要求。因此，激光解鍵合技術(shù)被視為HBM4制造過程中的理想選擇。隨著技術(shù)的不斷成熟和供應(yīng)鏈的逐步完善，HBM4有望在AI服務(wù)器、高性能計(jì)算等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，進(jìn)一步推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

綜上所述，三星電子與SK海力士在HBM晶圓工藝技術(shù)上的這一重大革新，不僅展現(xiàn)了企業(yè)在技術(shù)創(chuàng)新方面的卓越實(shí)力，更為整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)帶來了新的發(fā)展機(jī)遇和挑戰(zhàn)。隨著激光解鍵合技術(shù)的深入研究和廣泛應(yīng)用，我們有理由相信，未來的HBM將更加小型化、高性能化，為人類社會(huì)帶來更加豐富的科技體驗(yàn)。