據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,***垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)外延和芯片制造商HLJ Technology(華立捷科技股份有限公司,以下簡(jiǎn)稱“華立捷”)已訂購(gòu)多臺(tái)MOCVD設(shè)備AIX 2800G4-TM。
該訂單將用于擴(kuò)大華立捷的晶圓產(chǎn)能,同時(shí)將VCSEL的晶圓尺寸從4英寸提高至6英寸。Aixtron表示,其全自動(dòng)行星式反應(yīng)器系統(tǒng)將于2018年第四季度以8 x 6英寸的配置供貨。據(jù)Aixtron稱,AIX 2800G4-TM被視為包括VCSEL在內(nèi)的高端激光應(yīng)用的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),特別是在3D傳感領(lǐng)域,這是因?yàn)樾行鞘椒磻?yīng)器提供的工藝性能卓越,可精確控制外延層厚度和均勻性。因此,使用該系統(tǒng)的工廠能在滿足高產(chǎn)量的同時(shí)提供高質(zhì)量的產(chǎn)品。
華立捷總經(jīng)理Larry Lai說(shuō)道:“為了滿足市場(chǎng)對(duì)外延晶圓和芯片級(jí)VCSEL的快速增長(zhǎng)需求,我們決定將晶圓尺寸提高到6英寸。從2018年第四季度開始,新訂購(gòu)的兩套Aixtron MOCVD系統(tǒng)將抵達(dá)華立捷。2019年第二季度,第一條完整的VCSEL量產(chǎn)線將投入使用?!薄昂芨吲d我們的新合作伙伴華立捷選擇了AIX 2800G4-TM系統(tǒng),這套設(shè)備可實(shí)現(xiàn)一流的VCSEL外延和芯片制造量產(chǎn)工藝。
期待我們與華立捷的合作,我們將全力協(xié)助華立捷的生產(chǎn)工藝與我們的設(shè)備完美匹配?!盇ixtron首席執(zhí)行官Bernd Schulte說(shuō)。
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原文標(biāo)題:華立捷訂購(gòu)多臺(tái)Aixtron設(shè)備,擴(kuò)大6英寸VCSEL產(chǎn)能
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