MEMS的全稱是Micro-Electro-MechanicalSystem，中文名稱是微機電系統(tǒng)，是將微電子電路技術(shù)與微機械系統(tǒng)融合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，它的操作范圍在微米尺度內(nèi)。
2023-07-31 16:11:13
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傳感MEMS技術(shù)是指用微電子微機械加工出來的、用敏感元件如電容、壓電、壓阻、熱電耦、諧振、隧道電流等來感受轉(zhuǎn)換電信號的器件和系統(tǒng)。
2023-04-25 10:16:40362 
摘要 MEMS已被認為是最有前途的技術(shù)之一。在21世紀，它具有革命性的工業(yè)和結(jié)合以硅為基礎(chǔ)的微電子產(chǎn)品微加工技術(shù)。它的技術(shù)和微系統(tǒng)電子設(shè)備有可能極大地影響我們的生活。本文介紹了微機電系統(tǒng)文章全部詳情
2023-04-24 09:21:00259 和微電子電路技術(shù)結(jié)合發(fā)展出來的一項工程技術(shù)，它的尺寸一般在微米量級。 圖：MEMS微機電系統(tǒng)示意圖 MEMS傳感器想要成功主要看封裝技術(shù)，包括SIP（系統(tǒng)級封裝）、WLP（晶圓級封裝）、三維硅
2023-02-20 10:21:44
0 微機電系統(tǒng)（MEMS）是一種使能技術(shù)。它將半導(dǎo)體技術(shù)的多功能性與機械結(jié)構(gòu)的功能融為一體，開辟了全新的應(yīng)用領(lǐng)域。MEMS技術(shù)使智能手機能夠提供方向，或健身追蹤器來檢測我們何時跑步，坐著或睡覺。但是，MEMS技術(shù)可以做的不僅僅是“感覺”。它可以作為系統(tǒng)的輸入，或輸出（執(zhí)行器）和控制或反饋回路的組成部分。
2022-10-14 11:11:48718 射頻微機電系統(tǒng) (RF MEMS) 開關(guān)是低功耗小型微機械開關(guān)，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關(guān)，通過觸點打開或關(guān)閉在開關(guān)中傳輸信號。在RF MEMS器件中，開關(guān)的機械組件大小只在微米級別。與電燈開關(guān)不同的是，RF MEMS開關(guān)傳輸?shù)氖巧漕l信號。
2022-05-18 10:22:071597 
什么是射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)？ ? 射頻微機電系統(tǒng) (RF MEMS) 開關(guān)是低功耗小型微機械開關(guān)，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關(guān)，通過觸點打開或關(guān)閉在開關(guān)中傳輸信號。在
2022-05-16 16:14:203488 
什么是射頻微機電系統(tǒng)開關(guān)？ 射頻微機電系統(tǒng) （RF MEMS） 開關(guān)是低功耗小型微機械開關(guān)，可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關(guān)，通過觸點打開或關(guān)閉在開關(guān)中傳輸信號。在RF
2022-05-12 17:19:151579 
來源：Simon? 半導(dǎo)體芯科技 微機電系統(tǒng)或稱MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)，是用微加工技術(shù)制造的小型化機械電子器件（即設(shè)備和結(jié)構(gòu)）。MEMS的物理
2022-03-04 18:49:071379 MEMS（微機電系統(tǒng)）元件的失效機制從本質(zhì)上講和與之相對應(yīng)的宏觀（肉眼可見）元件，具有很大差別并且是獨特的。本文討論從各種MEMS元件中觀測到的失效機制。需要強調(diào)的是，MEMS裝置的組裝使用散裝表面
2021-12-13 09:37:37938 
基于壓力發(fā)電的遠程微機電電源系統(tǒng)
2021-07-05 11:37:204 系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)所涉及的材料、微機械設(shè)計和模、微細加工技術(shù)以及微封裝與測試等領(lǐng)域,并對微機電系統(tǒng)的應(yīng)用、典型的微器件、國內(nèi)外的發(fā)展現(xiàn)狀及前景進行全面分析. 在此基礎(chǔ)上,論述了MEMS 技術(shù)目前存在
2009-03-17 15:29:51
MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機電系統(tǒng)），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統(tǒng)，微機械結(jié)構(gòu)的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學腐蝕、晶片鍵合等，同時在機械結(jié)構(gòu)上制備了電極，以便通過電子技術(shù)進行控制。
2020-12-25 15:34:493638 專有的基于微機電系統(tǒng)(MEMS)的硅芯片，推動實現(xiàn)商業(yè)化，并加快Evonetix的首款產(chǎn)品（DNA桌面寫入器）的開發(fā)。
2020-09-27 12:04:342121 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)使用半導(dǎo)體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機械和機電元件。MEMS設(shè)備可以從沒有運動元件的相對簡單的結(jié)構(gòu)到具有多個運動元件的復(fù)雜的機電系統(tǒng)。
2020-07-22 18:06:094207 
9月4日消息，液晶背光模塊廠中光電宣布，已于7月底新設(shè)100%持股子公司中光電智能感測，并于9月初完成收購智動全球（Global MEMS）微機電系統(tǒng)（MEMS）相關(guān)業(yè)務(wù)及資產(chǎn)，將正式跨入MEMS新事業(yè)領(lǐng)域。
2019-09-12 10:18:183043 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統(tǒng)): 第二部分
2019-08-21 06:05:001573 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統(tǒng)): 第四部分
2019-08-13 06:00:001578 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統(tǒng)): 第三部分
2019-08-06 06:18:002782 經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。 一、MEMS傳感器的主要分類 1、傳感 傳感MEMS
2019-03-20 08:41:012946 美國柏恩Bourns全球知名電子組件領(lǐng)導(dǎo)制造供貨商，今天推出了微機電系統(tǒng)(MEMS)環(huán)境傳感器，Bourns精密傳感器(BPS)系列提供的產(chǎn)品分別為三個壓力傳感器系列與一個濕度傳感器系列。
2018-11-23 15:43:243966 微機電（MEMS）在顯示應(yīng)用最成功的領(lǐng)域首推投影機，而在背光模塊方面則主要應(yīng)用于導(dǎo)光板網(wǎng)點與光學擴散膜。整體而言，MEMS是用來解決表面微結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜之問題，而目前技術(shù)關(guān)卡包括僅限于小尺寸顯示屏制作
2018-11-22 18:09:01325 美國柏恩Bourns全球知名電子組件領(lǐng)導(dǎo)制造供貨商，近日推出了微機電系統(tǒng)（MEMS）環(huán)境傳感器，Bourns精密傳感器（BPS）系列提供的產(chǎn)品分別為三個壓力傳感器系列與一個濕度傳感器系列。
2018-11-21 16:59:414225 數(shù)十年來，振蕩器和時鐘始終依靠石英晶體來構(gòu)建穩(wěn)定的參考頻率。晶體在許多應(yīng)用中表現(xiàn)出十分優(yōu)異的性能。但十年前，用MEMS諧振器代替石英晶體的微機電系統(tǒng)（ Microelectromechanical System，MEMS）技術(shù)進入了市場，并且正在迅速走向成熟。
2018-03-21 16:39:571 微機電系統(tǒng)（MEMS） 慣性傳感器的設(shè)計在本質(zhì)上對運動非常敏感，可有效檢測和處理線性加速、磁航向、海拔和角速率信息。為充分利用慣性傳感器的性能潛力，設(shè)計者必須熟悉總體機械系統(tǒng)，密切關(guān)應(yīng)用中的運動源
2017-10-23 17:28:3933 微機電系統(tǒng)（MEMS）屬于21 世紀前沿技術(shù)，是對MEMS加速度計、MEMS 陀螺儀及慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的總稱。MEMS 器件特征尺寸從毫米、微米甚至到納米量級，涉及機械、電子、化學、物理、光學、生物
2017-09-21 16:00:350 微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米
2017-09-14 09:43:436 美國國家標準與技術(shù)研究所（NIST）日前展示一款采用微機電系統(tǒng)（MEMS）的延遲線內(nèi)存控制器，可望作為未來量子電腦的暫存內(nèi)存控制器。
2013-03-21 09:12:171028 微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進的制造技術(shù)平臺。它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的。MEMS更側(cè)重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領(lǐng)域。
2013-01-22 16:50:122132 如今MEMS（微機電系統(tǒng)）應(yīng)用越來越廣泛，MEMS（微機電系統(tǒng)）陀螺儀可提供反饋檢測機制，對優(yōu)化導(dǎo)航系統(tǒng)性能非常有用.
2012-12-10 13:55:211423 Abstract: The number of uses for microelectromechanical systems (MEMS) is growingthey allow us todo
2012-10-08 17:46:2528 市場研究機構(gòu)Yole Developpement公布最新前三十大微機電系統(tǒng)(MEMS)業(yè)者排名。
2012-03-29 09:55:351542 
微機電系統(tǒng)技術(shù)統(tǒng)有多種原材料和制造技術(shù)，選擇條件是系統(tǒng)的應(yīng)用、市場等等。
2011-09-13 17:39:492034 微機電系統(tǒng)，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。
2011-09-13 17:33:583437 MEMS微機電系統(tǒng)基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置，是一個獨立的智能系統(tǒng)，主要由傳感順、作動器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。
2011-09-13 17:28:432374 微機電系統(tǒng)，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的.電子發(fā)燒友為大家提供了詳盡的技術(shù)知識。
2011-09-13 17:02:18
MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器深受運動、加速度、傾斜度和振動測量市場的歡迎。MEMS傳感器是系統(tǒng)級封裝解決方案，具有高分辨率、低功耗和尺寸緊湊等諸多優(yōu)點。
2011-05-22 11:26:341446 相信每個人或多或少都聽過報章雜志提到微機電系統(tǒng)(以下簡稱MEMS: Micro Electronic Mechanical System)，而意法半導(dǎo)體(STMicroelectronic)在
2011-01-27 09:19:051957 
意法半導(dǎo)體(ST)日前最新推出的微機電系統(tǒng)(MEMS)LPS001WP，該壓力感測器成功實現(xiàn)智慧型手機以及其它可攜式裝置能夠確
2010-12-07 09:05:061483 DIGITIMES Research指出，微機電系統(tǒng)(MEMS)慣性組件應(yīng)用已起飛，目前尤以手機中的應(yīng)用最被全球業(yè)者所看好，故業(yè)者將
2010-11-23 09:14:55879 摘要：對微機電系統(tǒng)（Micro Electro Mechanical Systems,MEMS）組裝與封裝工藝的特點進行了總結(jié)分析，給出了MEMS組裝與封裝設(shè)備的研究現(xiàn)狀。針對MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的特點，分析了面向MEMS組裝與
2010-11-12 02:10:2945 歐勝世界領(lǐng)先的數(shù)字微機電系統(tǒng)(MEMS)麥克風帶來通透清朗的音頻
中國北京，2010年11月4日 - 歐勝微電子有限公司日前正式發(fā)布其下一代
2010-11-08 21:55:20723 微機電 (MEMS) 技術(shù)在電子產(chǎn)品中的地位愈來愈重要，不論是在汽車、工業(yè)、醫(yī)療或軍事上需要用到此類精密的元器件，在信息、通訊和消費性電子等大眾的市場，也可以看到快速增長
2010-07-17 09:33:501204 
據(jù)iSuppli公司的最新調(diào)研，微機電 (MEMS)汽車傳感器將在2010年強勁反彈，預(yù)計2010年全球汽車MEMS傳感器出貨量將達到5.912億個，比2009年的5.020億勁增17.8%。2009年MEMS傳感器市場劇烈波動
2010-06-28 08:07:20468 為了更好地支持微機電系統(tǒng)(MEMS)Top-Down設(shè)計流程,針對MEMS仿真中的多能量域與非線性特點,采用鍵合圖場元件與結(jié)型結(jié)構(gòu)設(shè)計并實現(xiàn)了一個集中參數(shù)表達的MEMS鍵合圖仿真元件庫,同時基
2010-01-16 14:34:4518 微機電系統(tǒng)的發(fā)展及其應(yīng)用:微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上產(chǎn)生和發(fā)展起來的多學科交叉的前沿科學研究領(lǐng)域,是面向21 世紀的高新科技. 介紹了微機電系統(tǒng)產(chǎn)生的背景影響、組成
2009-12-29 23:45:4235 微機電源 從IBM推出第一臺PC至今，微機電
2009-12-17 16:54:581368 隨著MEMS 加工工藝的發(fā)展，微機電系統(tǒng)的材料特性引起了人們越來越多的關(guān)注。由于硅晶材料的殘余應(yīng)力會降低MEMS 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的使用壽命，頻繁的沖擊會對器件造成致命的傷害。因此
2009-11-23 14:12:3915 微機電系統(tǒng)（MEMS）是當前一個發(fā)展極為迅速并涉及多個學科的領(lǐng)域。本文主要介紹了微機電系統(tǒng)的產(chǎn)生與發(fā)展過程，討論了它所采用的材料和加工技術(shù)、該技術(shù)涉及的各個學科，
2009-11-23 13:32:5914 MicroElectroMechanical Systems, MEMS, are systems based on a range of techologies whereby tiny
2009-11-16 13:58:0320 論述了微機電系統(tǒng)設(shè)計工具的發(fā)展概況，并針對微機電系統(tǒng)的多樣性對設(shè)計工具的需求提出了一種可支持任意流程的微機電系統(tǒng)設(shè)計工具架構(gòu)。該架構(gòu)以系統(tǒng)級行為建模與仿真、器
2009-11-16 13:52:3424 為了更好地支持微機電系統(tǒng)(MEMS)Top-Down設(shè)計流程,針對MEMS仿真中的多能量域與非線性特點,采用鍵合圖場元件與結(jié)型結(jié)構(gòu)設(shè)計并實現(xiàn)了一個集中參數(shù)表達的MEMS鍵合圖仿真元件庫,同時基
2009-11-16 11:42:0617 碳納米管研究的不斷發(fā)展為其與微機電系統(tǒng)(MEMS) 的結(jié)合提供了可能,這種結(jié)合“Top - down”與“Bottom2up”的方法是微米/ 納米技術(shù)的一個發(fā)展趨勢。碳納米管的特性及其在MEMS 上
2009-11-16 11:31:0726 微光機電系統(tǒng)(MOEMS) 是在微機電系統(tǒng)(MEMS) 基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新技術(shù)系統(tǒng),它是由微光學、微電子和微機械相結(jié)合而產(chǎn)生的一種新型的微光學結(jié)構(gòu)系統(tǒng),MOEMS 在信息、軍事、航
2009-11-16 11:28:189 微機電系統(tǒng)(MEMS) 和納機電系統(tǒng)(NEMS) 是微米/ 納米技術(shù)的重要組成部分。MEMS已在產(chǎn)業(yè)化道路上發(fā)展,NEMS 還處于基礎(chǔ)研究階段。分析了微/ 納機電系統(tǒng)的發(fā)展特點,簡要地介紹了典型
2009-11-16 11:24:079 為了更好地支持微機電系統(tǒng)(MEMS)Top-Down設(shè)計流程,針對MEMS仿真中的多能量域與非線性特點,采用鍵合圖場元件與結(jié)型結(jié)構(gòu)設(shè)計并實現(xiàn)了一個集中參數(shù)表達的MEMS鍵合圖仿真元件庫,同時基
2009-10-06 09:44:0210 SOC 片上系統(tǒng)在國民經(jīng)濟與社會生活中，許多行業(yè)生產(chǎn)了所需求的產(chǎn)品。MEMS微機電系統(tǒng)和Smart Dust 智能微塵的出現(xiàn)，不但使生產(chǎn)、生活產(chǎn)生
2009-09-15 08:17:1518 介紹了微機電系統(tǒng)的基本原理及其在空間應(yīng)用的發(fā)展概況, 著重介紹了空間微傳感器、微執(zhí)行器、RF2M EM S、MO EM S、微儀器和微ö納衛(wèi)星的研究與進展情況。關(guān)鍵詞: 微機電系統(tǒng);
2009-07-15 08:48:3317 微機電系統(tǒng)是一個新興的技術(shù)領(lǐng)域. 闡述了微機電系統(tǒng)的特點、加工工藝、應(yīng)用及其現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢.[關(guān)鍵詞] 微機電系統(tǒng);微機械;微傳感器;微細加工技術(shù)
2009-06-20 10:59:1935 分析了分布式微機電系統(tǒng)特點，對基于多主體控制的分布式微機電系統(tǒng)構(gòu)成進行了研究，提出了采用多主體技術(shù)實現(xiàn)分布式MEMS控制的框架。對系統(tǒng)的模型、微機電主體的結(jié)構(gòu)、行為
2009-05-25 21:40:3721 微機電系統(tǒng)（MEMS）是當前一個發(fā)展極為迅速并涉及多個學科的領(lǐng)域。本文主要介紹了微機電系統(tǒng)的產(chǎn)生與發(fā)展過程，討論了它所采用的材料和加工技術(shù)、該技術(shù)涉及的各個學科，
2009-05-25 09:34:026 微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上產(chǎn)生和發(fā)展起來的多學科交叉的前沿科學研究領(lǐng)域,是面向21 世紀的高新科技. 介紹了微機電系統(tǒng)產(chǎn)生的背景影響、組成特征和基礎(chǔ)研究內(nèi)容,綜述
2009-03-11 17:16:5528
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