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為了更好地支持微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)Top-Down設(shè)計流程,針對MEMS仿真中的多能量域與非線性特點,采用鍵合圖場元件與結(jié)型結(jié)構(gòu)設(shè)計并實現(xiàn)了一個集中參數(shù)表達(dá)的MEMS鍵合圖仿真元件庫,同時基于該元件庫提出了一種MEMS動態(tài)系統(tǒng)建模與仿真方法.采用參數(shù)化仿真模型與結(jié)構(gòu)化體系構(gòu)建的元件庫,為MEMS設(shè)計流程中的概念設(shè)計階段與系統(tǒng)級設(shè)計階段的快速建模與仿真提供了方便,同時元件庫內(nèi)的所有元件均與MEMS器件級設(shè)計中的結(jié)構(gòu)特征具有映射關(guān)系,這為用戶需求空間!功能原理空間!結(jié)構(gòu)空間之間的設(shè)計空間映射提供了方便.通過一個靜電間隙執(zhí)行器的系統(tǒng)建模過程與仿真結(jié)果,驗證了利用該元件庫進(jìn)行建模與仿真的有效性.
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