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針對批次過程非線性、多模態(tài)等特征，提出一種基于判別核主元K近鄰（Dis-kPCkNN）的故障檢測方法。首先，在核主元分析（ kPCA）中，高斯核的窗寬參數(shù)依據(jù)樣本類別標(biāo)簽在類內(nèi)窗寬和類間窗寬中判別選取，使得核矩陣能有效提取數(shù)據(jù)的關(guān)聯(lián)特征，保持?jǐn)?shù)據(jù)的類別信息；其次，在核主元空間中引用K近鄰規(guī)則代替?zhèn)鹘y(tǒng)的T2統(tǒng)計(jì)方法，后近鄰規(guī)則可以有效處理主元空間非線性和多模態(tài)等特征的故障檢測問題。數(shù)值模擬實(shí)例和半導(dǎo)體蝕刻工藝過程仿真實(shí)驗(yàn)表明：基于判別核主元K近鄰方法可以有效地處理具有非線性和多模態(tài)結(jié)構(gòu)特征的故障檢測問題，提高計(jì)算的效率，減少內(nèi)存的占用，并且故障檢測率明顯優(yōu)于傳統(tǒng)方法。
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