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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電源技術(shù)>放電等離子體極紫外光源中的主脈沖電源

      放電等離子體極紫外光源中的主脈沖電源

      2010-03-05 | rar | 221 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      描述了Ｚ箍縮放電等離子體極紫外光源系統(tǒng)中的主脈沖電源，給出了主電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，重點(diǎn)介紹了三級磁脈沖壓縮網(wǎng)絡(luò)，給出了關(guān)鍵參數(shù)的設(shè)計(jì)計(jì)算，并且介紹了新穎的末級磁脈沖壓縮放電結(jié)構(gòu)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示：各級磁脈沖壓縮效果達(dá)到設(shè)計(jì)指標(biāo)，電源輸出電壓峰達(dá)３０ｋＶ，輸出電流峰值大于４０ｋＡ，電流脈沖寬度２００ｎｓ，滿足Ｚ箍縮放電等離子極紫外光源對主脈沖的要求。
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